در فرآیند لیتوگرافی، خطای دمایی PEB میتواند منجر به اختلالات در کیفیت سطح ورقههای شیشهای شود. حتی ۱ درجه سانتیگراد تفاوت دمایی در سطح ورقه، میتواند باعث اختلال در پروفایلهای فوتورزیست و اتلاف ساعتها زمان تولید شود. ما هیترهای PEB را طوری طراحی کردهایم که پروفایل دمایی را در محدوده مشخص شده نگه دارند، و این کار برای هر دسته از ورقهها صادق است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از عناصر هالوژنی موج کوتاه مادون قرمز برای گرم کردن سریع و مستقیم ورقهها استفاده میکنیم؛ این روش باعث میشود پروفایل دمایی در سطح ورقه در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. همچنین، تکرارپذیری این فرآیند در حد چند میلیثانیه است؛ بنابراین پروفایل دمایی یکسانی برای هر دسته از ورقهها حاصل میشود. این ماژول برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، از موادی با میزان گاز خارج شونده کم و مسیری با کنترل دقیق ذرات استفاده شده است. عدم تولید هیچ ذرهای در حین فرآیند گرم کردن، یک ویژگی مهم است؛ این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در لحظه استفاده از دستگاه، تأیید میشود.
چرا این موضوع در فرآیند فوتورزیست اهمیت دارد؟ مرحله PEB بین فرآیند قرار گرفتن ورقه در معرض نور و فرآیند توسعه آن قرار دارد؛ در این مرحله، فرآیند تقویت شیمیایی ورقه به پایان میرسد و عرض خطوط روی ورقه تعیین میشود. هیترهای ما باعث میشوند این مرحله به خوبی کنترل شود؛ در نتیجه، تغییرات در کیفیت ورقه کاهش مییابد. همچنین، این پلتفرم میتواند برای روشهای گرم کردن مختلف استفاده شود؛ این روشها باعث کاهش زمان تولید میشوند، بدون اینکه کنترل بر پروفایل دمایی کاهش یابد. از آنجایی که موج کوتاه مادون قرمز ورقه را مستقیماً گرم میکند، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد.
نکات عملی: نصب این دستگاه نیازمند تطابق ابعاد محفظه و رابط الکتریکی دستگاه است. قبل از اتصال دستگاه، باید محیط مکانیکی، لولههای سرمایشی و ولتاژ الکتریکی را بررسی کنید. موج کوتاه مادون قرمز باعث پاسخ سریع دستگاه میشود، اما برای حفظ یکنواختی دمایی، باید تنظیمات نوری و تمیزی پنجرهها را نیز در نظر گرفت. همچنین، باید بازرسیهای دورهای بر روی پنجرهها و لامپها انجام شود تا پروفایل دمایی در طول فرآیند تولید حفظ شود.