In der Fertigungsstätte reicht bereits eine Temperaturschwankung von 1 °C während des Weichbrennvorgangs aus, um die kritischen Abmessungen der Wafer zu beeinträchtigen – und dadurch viele Wafer unbrauchbar zu machen. Herkömmliche Öfen heizen den Raum, nicht direkt die Wafer selbst. Wir haben ein zonales Heizsystem entwickelt, das die Wärme genau dort abgibt, wo sie benötigt wird – also direkt auf den Wafer – und dabei innerhalb der zulässigen thermischen Grenzen bleibt.
Was technisch wichtig ist:
Unsere zonalen Infrarotmodule sorgen dafür, dass die Temperatur im aktiven Bereich bei ±0,1 °C konstant bleibt. Die Wiederholgenauigkeit der Einstellwerte liegt bei ±0,5 °C – auch nach Tausenden von Zyklen. Kurzwellenergiequellen ermöglichen es, die nötigen Temperaturen schnell zu erreichen. Das designs ohne Kohlefasern senkt außerdem die Anzahl der Partikel – ideal für Umgebungen der Klassen 1–100. Das System arbeitet 24/7 und kompensiert automatisch Temperaturschwankungen. So bleibt die Leistung über 5.000 Stunden hinweg stabil.
Warum das in Lithografieanlagen funktioniert:
Durch diese Präzision lässt sich die Genauigkeit der Abmessungen besser steuern – und es werden weniger Nacharbeiten notwendig. Für das Trocknen der Wafer sowie das Entfernen von Randpartikeln beschleunigt das zonale Heizsystem die Verdunstung der Lösungsmittel, ohne das Substrat zu schädigen. Dadurch steigt die Produktivität und der Energieverbrauch sinkt.
Die Profile des Weichbrennvorgangs bleiben von Charge zu Charge konstant – dadurch wird die Variabilität zwischen den Maschinen verringert. Man erhält somit wieder mehr Kontrolle über den Prozess und muss keine Zeit mehr mit der Anpassung der Parameter verbringen, um thermische Unregelmäßigkeiten auszugleichen.
Praktische Aspekte:
Das zonale Heizsystem muss eng mit der Plattform zur Auftrags- und Brennvorgänge verbunden sein – die Heizzone muss perfekt mit der Bewegung des Spin-Chucks synchronisiert sein. Umrüstungen sind möglich, doch man sollte die mechanischen Gegebenheiten sowie die Kühlungsanlagen für jede einzelne Maschine überprüfen. Man sollte außerdem auf eine saubere Belüftung sowie auf EMV-Schutz achten – insbesondere in der Nähe von Geräten, die empfindlich auf Störungen reagieren. Der Vorteil zeigt sich sofort, sobald das thermische Profil nicht mehr die entscheidende Variable im Produktionsprozess ist.