Auf der Fertigungsfläche befindet sich die Prüfkarte unter dem Mikroskop und wartet darauf, mit der nächsten Produktionscharge verwendet zu werden. Sollte die Temperatur des Wafers auch nur um einen Bruchteil eines Grades schwanken, schließt sich das Parameterfenster sofort – dadurch sinkt die Erfolgsrate bei der Produktion. Wir haben diesen Heizer entwickelt, um diese Schwankungen bereits dort zu verhindern, wo die Prüfspitze den Wafer berührt.
Was wirklich wichtig ist bei den Tests
Der Heizer nutzt Kurzwell-Infrarotelemente, die eine Quarzwärmeleitungsstruktur antreiben. Dadurch wird eine schnelle Reaktion sowie eine geringe thermische Trägheit erreicht. Auf der Waferoberfläche bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C – zudem bleibt die Wiederholgenauigkeit hoch, da der Regelkreis direkt am Werkstück statt am Heizerkörper angeordnet ist. Der Heizer passt in herkömmliche Prüfstände ein; außerdem ist die heiße Zone isoliert, sodass Bewegungen des Prüftisches keine Störungen verursachen. Dank versiegelter Materialien sowie eines kontrollierten Luftstroms bleibt die Reinraumklasse 1–100 gewahrt.
Warum der Heizer in der Produktion funktioniert
Dieser Heizer wurde als gleichwertiges thermisches Modul zu internationalen Halbleitergeräten konzipiert und gemäß denselben Anforderungen getestet. In den Qualifizierungseinrichtungen arbeitet er rund um die Uhr ohne unplanmäßige Ausfälle aufgrund von Temperaturschwankungen. Bei der Überprüfung des Fotoresists hält der Heizer die Temperaturen während des Weichbrennvorgangs sowie des Hartbrennvorgangs konstant – dadurch wird eine stabile Kontrolle der wichtigen Dimensionen gewährleistet. Der Vorteil: Weniger Nacharbeiten, stabile Parameterwerte sowie geringerer Energieverbrauch, da die Aufheizzyklen kürzer sind.
Einige praktische Hinweise
Die Installation ist einfach – doch der Heizer benötigt eine spezielle, gefilterte Stromversorgung, um die Raumluftqualität in der Reinräumumgebung auf dem gewünschten Niveau zu halten und eine Verschlechterung der Beschichtung im Laufe der Zeit zu verhindern. Es ist wichtig, dass die mechanischen Anschlüsse sowie die Steckverbinder zum jeweiligen Prüfstand passen, damit der Heizer problemlos eingesetzt werden kann. Sobald alles richtig eingestellt ist, kann der Heizer als Ersatzteil verwendet werden – ohne dass man die Prozessanleitung ändern muss.