Auf der Lithografieebene führt ein Temperaturfehler beim PEB-Prozess schnell zu Abweichungen in der CD-Struktur sowie zu Ungenauigkeiten bei der Aufbringung des Fotolacks. Schon eine Uneinheitlichkeit von 1°C über die gesamte Waferfläche reicht aus, um die Profile des Fotolacks außerhalb der geforderten Normen zu bringen – und das bedeutet Stunden an Arbeit, die verschwendet werden müssen. Wir haben unsere Heizelemente für den PEB-Prozess so konstruiert, dass die Temperatur innerhalb des gewünschten Bereichs bleibt – Lot für Lot.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden kurzwellige Infrarotheizelemente hinter einem Quarzfenster, um eine schnelle, direkte Erwärmung zu erreichen. Dadurch bleibt die Temperaturverteilung über die gesamte Waferfläche bei ±0,1°C. Die Wiederholgenauigkeit beträgt dabei nur Millisekunden – dadurch bleibt die gleiche Temperatur auch bei Produktionschargen Nummer 1 bis 1000 erhalten. Das Gerät eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100; es verwendet Materialien mit geringer Gasemission und sorgt außerdem dafür, dass keine Partikel entstehen. Die fehlende Partikelbildung wird durch kontinuierliche Überwachung direkt an der Schnittstelle zum Werkzeug festgestellt.
Warum das im Fotolackprozess wichtig ist
Der PEB-Prozess liegt zwischen der Belichtung und der Entwicklung. Hier erfolgt die chemische Vergrößerung des Bildes sowie die Festlegung der Linienbreite. Unsere Heizsysteme sorgen dafür, dass dieser Prozess stabil abläuft – dadurch werden Abweichungen in der CD-Struktur vermieden. Dasselbe System kann sowohl sanfte als auch starke Erwärmungsprozesse durchführen. Dadurch wird die Zykluszeit verkürzt, ohne dass die Kontrolle über die Temperatur beeinträchtigt wird. Da das Kurzwell-Infrarotlicht die Waferfläche direkt erhitzt – anstatt die Wandungen der Kammer – wird der Energieverbrauch reduziert.
Einige praktische Hinweise
Bei der Installation muss man auf die Abmessungen der Kammer sowie auf die Schnittstellen zum Werkzeug achten. Bevor man das Gerät einsetzt, sollte man die mechanischen Anforderungen, die Kühllinesen sowie die elektrischen Eigenschaften überprüfen. Kurzwelliges Infrarotlicht sorgt zwar für eine schnelle Reaktion, doch man muss darauf achten, dass die optische Ausrichtung sowie die Sauberkeit des Fensters gewährleistet bleiben. Regelmäßige Überprüfungen des Fensters sowie des Austausch der Lampen sind notwendig, damit die Temperaturverteilung über lange Produktionszeiten hinweg konstant bleibt.