In der Fertigungshalle kann bereits ein einziger Wasserzeichenfehler dazu führen, dass eine ganze Charge von Wafern unbrauchbar wird. Die traditionellen Trocknungsverfahren sind äußerst schwierig zu kontrollieren – auf der einen Seite entsteht thermischer Stress, auf der anderen Seite droht Kontamination durch Partikel. In der Lithografie darf man keine Fehler tolerieren: Eine Abweichung von 0,5°C während des Fotoleitwerk-Behandlungsprozesses kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen nicht mehr eingehalten werden. Deshalb haben wir den Halogen-IR-Strahler entwickelt, um diese Unsicherheiten auszugleichen.
Was technisch wichtig ist:
Im Quarzkorb befindet sich eine Kurzwellen-Halogenlampe, die mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde direktes Infrarotlicht abgibt. So bleibt die Temperatur in der Zielregion bei ±0,1°C konstant. Die Schließkreiskontrolle sorgt dafür, dass die Trocknungsergebnisse von Lauf zu Lauf gleichbleiben. Das System funktioniert in Reinräumen der Klasse 1–100 ohne jegliche Partikelbelastung. Zudem bleibt das thermische Profil stabil – dadurch wird das thermische Gleichgewicht der Wafer gewahrt, während gleichzeitig die Feuchtigkeit entfernt wird, ohne dass es zu Nebeneffekten kommt.
Warum es funktioniert:
Nach der Reinigung der Wafer ist eine schnelle Trocknung notwendig – doch dabei darf die Oberflächengüte nicht beeinträchtigt werden. Der Halogen-IR-Strahler heizt nur das Zielgebiet auf, sodass der Rest des Raums kühl bleibt und die umliegenden Komponenten nicht belastet werden. Dadurch werden kürzere Zykluszeiten erreicht, der Energieverbrauch sinkt und die Trocknung erfolgt konsequent – wodurch die Haftung des Fotoleitwerks während der anschließenden Behandlung erhalten bleibt. Dadurch werden die Prozessbedingungen verbessert und die Erträge steigen, denn die Trocknungstemperatur entspricht immer genau den Vorgaben.
Was man wissen muss:
Bei der Installation ist eine präzise optische Ausrichtung sowie eine geeignete Stromversorgung erforderlich, um die spektrale Stabilität zu gewährleisten. Ungenau ausgerichtete Reflektoren oder schwankende Spannungen können dazu führen, dass die Einstellungen verändert werden. Der Strahler arbeitet mit hoher Intensität – daher müssen thermische Isolierung sowie Schutzmechanismen als Teil des Prozesses berücksichtigt werden. Planen Sie außerdem regelmäßige Austauschintervalle für die Lampe nach 5.000 Betriebsstunden ein – und führen Sie diese Arbeiten während der geplanten Wartungszeiten durch. So kann die Betriebszeit gewährleistet bleiben und die Qualität der Produkte erhalten bleiben.