Přestaňte ztrácet čas na pomalé zahřívání
Buďme upřímní: konvekce s použitím vzduchu je zdržovadlo. V podstatě se zahřívá vzduch, jen aby poté mohl zahřát váš substrát. Ve světě hlubokého zpracování polovodičů je tento zpoždění opravdu velkým problémem – snižuje efektivitu práce a zbytečně se plýtvá hodinami výroby.
Abychom to vyřešili, odstraníme prostředníka. Přecházíme na infračervené lampy bez obsahu ozonu.
Jak to vlastně funguje
Místo čekání na proudění vzduchu využívají infračervené lampy elektromagnetické vlny. Teplo působí přímo na cíl.
Možná se obáváte kontaminace. Proto používáme kvartové obaly bez obsahu ozonu. Ty udržují spektrum čisté, takže nedochází k poškození vaší čisté místnosti nebo waferů.
Výsledek? Zahřívání probíhá téměř okamžitě. Mluvíme o cyklech zahřívání, které se zkracují z minut na sekundy.
Více tepla, méně prostoru
Tyto lampy poskytují velké množství tepla v malém prostoru. Pokud pracujete v prostorách, kde se nevejde objemný ventilátor nebo složité potrubí, to je pro vás řešení.
Kromě toho, jelikož je teplo směrové, můžete sami rozhodnout, kam energie půjde. Nemusíte celou mašinu zaplavovat teplem a doufat, že chlazení bude fungovat. Je to precizní řešení.
Na co si dát pozor
Je tu jedna výhražka: přímé záření je silné. Ušetříte spoustu času na zahřívání, ale protože je hustota energie tak vysoká, musíte správně nastavit chlazení během „vypínacího“ režimu. Pokud chlazení není správně nastaveno, hrozí poškození substrátu. Je to kompromis, ale zvládnutelný.
Proč vůbec měnit?
Většina firem, které chtějí dosáhnout vysoké kapacity a přesnosti, již udělala tento krok. Jedná se o jednoduchou náhradu za tradiční chladicí systémy v procesech hlubokého zpracování. Přestanete bojovat s nepředvídatelnými proudy vzduchu a začnete manipulovat s fotony.
V konečném důsledku to znamená, že každá směna přinese více waferů skrz celý proces. Je to prosté.