V výrobní hale má každá destička svůj termální rozpočet, který není možné překročit. I nepatrné změny teploty mohou vést k odchylkám v tloušťce vrstvy na destičce, ke vzniku nežádoucích útvarů na povrchu destičky a ke snížení úrovně kvality výrobku. Cena infračervené lampy na zahřev destiček není jen částkou uvedenou v objednávce – jde o náklady spojené s udržováním stability procesu.
Co je technicky důležité
Naše infračervené lampy zachovávají termální jednotnost na úrovni pod milimetr v rámci plochy destičky. V průběhu výrobního procesu udržujeme odchylky teploty v rozmezí ±0,1 °C. Tuto přesnost dosahujeme tím, že přizpůsobíme spektrum infračerveného záření absorpci fotorezisty. Díky tomu dochází k rychlému zahřátí bez kontaktu s destičkou, přičemž lze nastavit konstantní rychlost zahřívání. Systém je určen k použití v čistých prostorách od třídy 1 do třídy 100. Během provozu nevytváří žádné částice. Spolehlivost systému je potvrzena dlouhodobým provozem – jednotky mohou pracovat více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. To znamená méně neplánovaných přestávek a méně výměn lamp.
Proč to funguje tam, kde je to důležité
V modulech pro nanášení a zahřívání fotorezisty je kontrola teploty klíčová – ovlivňuje tloušťku vrstvy fotorezisty, její adhezi a kontrolu rozměrů destičky. Vyšší termální přesnost snižuje množství odpadu, urychluje proces kalibrace a šetří energii na jednu destičku, protože již není potřeba kompenzovat nadměrné zahřívání. Rychlá reakce lampy také zkracuje dobu mezi jednotlivými sériemi výroby, což umožňuje zvýšit kapacitu výroby bez zvyšování tepelné zátěže v komoře.
Věci, na které je potřeba dbát
Lampa funguje nejlépe, když odpovídá napětí, konektoru a geometrii otvorů v zařízení. Instalace vyžaduje přesnou optickou zarovnání a kalibraci pyrometru na ohřívanou oblast. Bez toho se objeví chyby v termální jednotnosti. Je nutné domluvit si pevný termín integrace s dodavatelem zařízení, aby bylo možné doladit parametry výrobního procesu a zajistit správnou funkci termálních zpětnovazeb.