红外发射器的陶瓷端盖

如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你曾尝试在100级洁净室中使用普通的红外灯，那你肯定知道这有多麻烦。因为大多数这类灯都是用胶水或廉价金属制成的，而这类材料根本无法承受高温。一旦温度升高，这些灯就会开始释放有害气体，或者有碎屑脱落。 在那种一粒灰尘就能毁掉整批晶圆的恶劣环境中，这简直就是一场噩...