用于晶圆的精密红外传感器

停止加热空气：更智能的晶圆处理方式 如果真想实现工厂的碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。它们耗能极高。相反，我们应该采用精确的红外加热技术。 原理很简单：既然只需要让晶圆本身变热，那就没必要加热整个真空室或晶圆周围的空气。我们可以利用红外传感器和灯泡，将热量精确地传递到需要加热的...