Wie man die Wafer sauber hält, wenn es heiß wird
Wenn man mit Hochleistungsproduktionslinien arbeitet, kennt man sicherlich dieses Albtraumszenario: Eine Lampe geht kaputt – plötzlich fallen Quarzkristallstücke sowie verdampftes Tungst auf die Wafer. Das ist nicht nur ein kleiner Ausfall – es handelt sich dabei um eine echte Kontaminationskatastrophe, die ganze Chargen zerstören kann.
Genau deshalb bauen wir unsere IR-Lampen mit Goldreflektoren auf diese Weise. Wir wollen verhindern, dass solche Katastrophen überhaupt erst auftreten.
Umgang mit der Hitze
Die meisten Lampen gehen wegen thermischer Belastungen oder lokaler Hitzepunkte kaputt. Um das zu vermeiden, verwenden wir hochreinen gefügten Quarz. Dieser kann große Temperaturwechsel ohne Bruch bewältigen.
Und der Goldreflektor? Er sorgt nicht nur dafür, dass die Lampe effizient funktioniert, sondern leitet auch die Infrarotstrahlung nach oben ab – dadurch bleibt die Hitze fern von Gehäusen und Anschlüssen, wo sie nicht erwünscht ist.
Ein kleiner Tipp: Achten Sie darauf, dass die Stromversorgung genau den Spannungsanforderungen der Lampe entspricht. Es ist verlockend, die Spannung zu erhöhen, um schneller die gewünschten Temperaturen zu erreichen – aber tun Sie das nicht. Dadurch wird die Glühfaden beschädigt und die Lampe kann früher kaputtgehen.
Vermeidung von Partikeln
Was die Kontamination angeht, so kommt es letztendlich auf das Versiegelungsmaterial und die Beschichtung an. Wir verwenden für die Goldbeschichtung Vakuumabscheidungstechniken – dadurch blättert die Beschichtung bei hohen Temperaturen nicht ab. Wenn die Beschichtung abblättert, landen Partikel auf den Wafern – das sieht nicht gut aus.
Aber seien wir ehrlich: Keine Lampe ist unzerstörbar. Deshalb empfehlen wir immer, einen schützenden Quarzsack oder ein Schutzgehäuse zu verwenden. Denken Sie daran: Es handelt sich dabei um eine Art „Versicherung“. Falls eine Lampe doch versagt, fängt das Schutzgehäuse die Trümmer auf, sodass sie nicht auf dem Substrat landen.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Goldreflektoren sind zwar die beste Lösung für eine hohe Infrarotreflexion – doch sie sind weich. Viel weicher als Aluminium.
Bitte sagen Sie Ihrem Team: Keine abrasiven Chemikalien! Wenn man die Lampen reinigt, entstehen Kratzer im Gold – dadurch entsteht ein Thermodynamik- Ungleichgewicht, und die Lampe versagt viel früher. Verwenden Sie lieber Komprimierter Luft oder spezielle Lösungsmittel.
Außerdem sollten die Wartungskräfte Handschuhe tragen. Hautöle mögen harmlos erscheinen – doch sie können im Quarz Spuren hinterlassen, was wiederum zu Spannungspunkten führt. Es handelt sich dabei um einen kleinen Detail – doch er hat großen Einfluss darauf, wie lange die Lampen tatsächlich halten.