Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Nutzung von Infrarotlampen
Die meisten Infrarotlampen sind ziemlich unpraktisch – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. Wenn man mit Halbleiterwerkzeugen arbeitet, bei denen der Platz begrenzt ist, führt das zu Problemen. Die Wände des Geräts saugen all diese überschüssige Energie auf. Das Ergebnis? Ein Gehäuse, das viel zu heiß wird – was sowohl ein Sicherheitsrisiko darstellt als auch eine enorme Verschwendung von Strom ist.
Der „goldene“ Trick
Um dieses Problem zu lösen, tragen wir eine goldreflektierende Schicht auf die Rückseite der Lampe auf. Warum Gold? Weil es hervorragend dazu geeignet ist, Infrarotstrahlung zurückzuschlagen. Anstatt dass die Wärme in das Gehäuse des Geräts eindringt, wird sie durch die Schicht nach vorne gelenkt. Dadurch wird die Wärme gezielt auf das Wafer oder Substrat abgegeben – während die Wände des Geräts weiterhin kühl bleiben.
Mehr Leistung, derselbe Platz
Außerdem gibt es noch die Lösung mit zwei Lampen in einem Gehäuse. Das ist eine kluge Methode, um mehr Strahlfläche zu erhalten, ohne dass die Lampe physisch größer werden muss. Durch das Verwenden von zwei Filamenten in einem Quarzgehäuse kann man mehr Leistung in den Zielbereich bringen. Damit erhält man eine konzentrierte Wärmestrahlung.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Diese Lampen passen in die üblichen Halterungen – doch man muss vorsichtig sein. Die goldene Schicht ist empfindlich. Wenn man sie beim Einbau beschädigt, entsteht ein „heißer Punkt“, durch den Wärme entweichen kann. Tragen Sie außerdem Handschuhe – die Öle aus der Haut können nämlich in den Quarz eindringen, was wiederum ein Problem darstellt.
Natürlich kostet die goldene Beschichtung etwas mehr als eine einfache, klare Quarzlampe. Doch wenn man bedenkt, dass man keine teuren Kühlsysteme benötigt, um zu verhindern, dass das Gehäuse überhitzt, macht sich das schon bezahlt.