Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong các thiết bị vận chuyển wafer của bạn đi. Khi di chuyển các wafer trong phòng sạch, nhiệt độ là yếu tố quan trọng nhất. Nếu nhiệt độ không được kiểm soát tốt, hiệu suất sản xuất sẽ giảm sút. Đơn giản vậy thôi.
Hầu hết các bộ sưởi hiện nay đều kém hiệu quả. Chúng phát ra nhiệt lượng theo mọi hướng – 360 độ. Vấn đề là một nửa lượng nhiệt đó bị lãng phí vào khung của thiết bị vận chuyển. Đó là sự lãng phí năng lượng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng vàng. Chúng tôi phủ một lớp vàng mỏng lên bề mặt bộ phản xạ để thay đổi cách truyền nhiệt. Vàng có khả năng phản xạ tia hồng ngoại rất tốt. Thay vì để nhiệt lan tỏa vào khung thiết bị, lớp vàng sẽ đẩy lại các tia hồng ngoại về phía wafer.
Như vậy, nhiệt lượng sẽ được tập trung vào đúng nơi cần thiết. Điều tuyệt vời là vì chúng ta đã tập trung năng lượng, nên bạn không cần tăng công suất để đạt được nhiệt độ mong muốn. Bạn không cần tiêu tốn nhiều năng lượng hơn nữa; bạn chỉ cần sử dụng hiệu quả hơn nguồn năng lượng hiện có mà thôi. Hệ thống HVAC cũng sẽ được giúp đỡ, vì phòng sạch sẽ không phải chịu áp lực nhiệt lớn nữa.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng các bộ phát tia hồng ngoại có mật độ cao sẽ rất nóng. Nếu thiết bị vận chuyển không có lớp cách nhiệt phù hợp, nhiệt lượng sẽ lan vào khung thiết bị. Nếu bạn không chú ý đến chất liệu được sử dụng, khung thiết bị có thể bị biến dạng. Điều quan trọng là tìm được sự cân bằng giữa công suất phát tia hồng ngoại và cấu trúc của thiết bị vận chuyển.
Về cách vận hành chúng, chúng tôi thiết kế chúng sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Chúng có thể được lắp đặt vào những khe hẹp mà không gặp khó khăn gì.
Chỉ cần lưu ý một điều: hãy giữ chúng sạch sẽ. Vàng rất kén chọn về môi trường sống. Nếu có hơi hóa chất bám trên bề mặt bộ phản xạ, khả năng phản xạ của chúng sẽ giảm. Khi đó, bộ sưởi phải hoạt động nhiều hơn để duy trì nhiệt độ, điều này khiến tuổi thọ của bộ sưởi giảm đi đáng kể. Hãy giữ chúng sạch sẽ, và chúng sẽ hoạt động tốt trong thời gian dài.