خلا کو گرم کرنا بند کریں: ویکیوم آئی آر ہی درست حل ہے
اگر آپ سیمی کنڈکٹرز کی پروسیسنگ کا کام کرتے ہیں، تو آپ نے شاید بہت وقت اس بات پر صرف کیا ہوگا کہ چیمبر کا درجہ حرارت مناسب سطح تک پہنچے۔ زیادہ تر لوگ گرم ہوا کے استعمال پر ہی اکتفا کرتے ہیں، کیوں کہ یہی معیاری طریقہ ہے۔ لیکن مسئلہ یہ ہے کہ اس طریقے میں وقت ضائع ہوتا ہے؛ دراصل آپ ہوا کو گرم کرتے ہیں، اور پھر اس گرم ہوا کے ذریعے ویفر کو گرم کرنے کا انتظار کرتے ہیں۔
ویکیوم میں تو یہ بالکل بیکار کی کوشش ہے۔
اسی لیے ہم ویکیوم آئی آر لیمپس کا استعمال کرتے ہیں۔ ان لیمپس میں الیکٹرومیگنیٹک ریڈییشن کا استعمال کیا جاتا ہے، تاکہ ویفر کی سطح پر براہِ راست اثر ہو۔ یہ بہت ہی موثر طریقہ ہے۔
انتظار کی حقیقی قیمت
فزکس کے اصولوں پر غور کریں۔ گرم ہوا کے استعمال میں چیمبر کے درجہ حرارت کو مناسب سطح تک پہنچنے میں وقت لگتا ہے۔ لیکن آئی آر کے استعمال میں تو توانائی کی منتقلی فوری ہی ہو جاتی ہے۔
یہ تو چھوٹی سی بات لگتی ہے، لیکن جب بڑے پیمانے پر پروسیسنگ کی جاتی ہے، تو ہر سائیکل میں بچنے والے چند منٹ بہت اہم ہوتے ہیں۔ یعنی ہر ماہ ہزاروں ویفرز زیادہ پروسس ہو جاتے ہیں۔ یہ تو آپ کے لیے بہت بڑا فائدہ ہے۔
ویکیوم میں صفائی کو برقرار رکھنا
ویکیوم میں کام کرنے سے کچھ مشکلات پیدا ہوتی ہیں۔ آپ لیمپ کو ٹھنڈا رکھنے کے لیے صرف فین کا استعمال نہیں کر سکتے۔
اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے ہم خصوصی کوارٹز مواد کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر صاف رہیں اور کسی قسم کی آلودگی سے محفوظ رہیں۔ اس کے علاوہ، چھوٹے سے حصے میں بہت زیادہ حرارت پیدا ہوتی ہے۔ اس طرح آپ کسی خاص جگہ پر ہی حرارت دے سکتے ہیں، بغیر پورے چیمبر کو گرم کرنے کی ضرورت کے۔
مشکلات
لیکن یہ سب کچھ اتنا آسان بھی نہیں ہے۔ اعلیٰ شدت والی آئی آر شعاعیں بہت خطرناک ہوتی ہیں۔ ان سے پاور سپلائی پر بہت دباؤ پڑتا ہے، اور PID کنٹرول سسٹم کی بہت اچھی کارکردگی ضروری ہے۔
اگر سینسرز میں تھوڑی سی بھی غلطی ہو جائے، تو درجہ حرارت مناسب سطح سے زیادہ ہو جاتا ہے، اور ویفر خراب ہو جاتا ہے۔ آپ کو ایسا فیڈبیک سسٹم درکار ہے جو حرارت کی رفتار کے مطابق فوری طور پر ردِعمل دے۔
لیکن جب یہ سسٹم ٹھیک طرح کام کرنے لگے، تو آپ اپنے چیمبر میں موجود خالی جگہوں پر توانائی ضائع کرنا بند کر دیں گے، اور اسے براہِ راست ویفر پر ہی استعمال کریں گے۔