ہوا کو گرم کرنا بند کریں: ویفروں کو پروسس کرنے کا زیادہ بہتر طریقہ
اگر ہم واقعی فیکٹری میں کاربن نیوٹرالٹی کے اہداف حاصل کرنا چاہتے ہیں، تو ہمیں ان پرانے رزسٹیو اوونوں پر انحصار کرنا بند کرنا ہوگا۔ یہ اوونز بہت زیادہ توانائی استعمال کرتے ہیں۔ اس کے بجائے، ہم درستگی سے حرارت فراہم کرنے والے IR ہیٹرز کا استعمال کر رہے ہیں۔
خیال بہت سادہ ہے: جب صرف ویفر کو گرم کرنے کی ضرورت ہے، تو پورے ویکیوم چیمبر یا ویفر کے ارد گرد کی ہوا کو کیوں گرم کیا جائے؟ ہم IR سینسرز اور لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں تاکہ حرارت بالکل صحیح جگہ پر پہنچے۔ اب مزید توانائی ضائع نہیں ہوتی۔
یہ عمل کیسے کام کرتا ہے؟
روایتی حرارتی نظام، کنویکشن کے ذریعے کام کرتا ہے۔ یہ طریقہ سست ہے، پیچیدہ ہے، اور بہت زیادہ توانائی استعمال کرتا ہے۔ IR حرارتی نظام الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کے ذریعے توانائی منتقل کرتا ہے۔ لیمپ کی تابکاری کو سلیکون کی خصوصیات کے مطابق استعمال کرکے، حرارت براہ راست ویفر میں پہنچتی ہے۔ یہ عمل بہت تیز ہے۔ اور چونکہ حرارت پہنچنے میں وقت کم لگتا ہے، اس لیے ہر ویفر کے لیے درکار کلوواٹ گھنٹے بھی کم ہو جاتے ہیں۔
اسے کنٹرول میں رکھنا
آپ صرف حرارت پیدا کرکے امید نہیں کر سکتے۔ آپ کو درجہ حرارت پر سخت کنٹرول رکھنا ہوگا۔
ہم تیز رفتار IR سینسرز کا استعمال کرتے ہیں جو ویفر کی سطح کو ریئل ٹائم میں نگرانی کرتے ہیں۔ یہ سینسرز PID لوپ سے جڑے ہوتے ہیں، جو لیمپ کی طاقت کو فوراً تبدیل کرتا ہے۔ اگر کہیں حرارت زیادہ ہو جائے، تو سسٹم فوراً لیمپ کی طاقت کو کم کر دیتا ہے۔ اس سے ویفر خراب نہیں ہوتا، اور بجلی کی لاگت بھی کم ہو جاتی ہے۔
اس کے نقصانات کیا ہیں؟
مسئلہ یہ ہے کہ جب آپ اعلیٰ کثافت والے IR لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں، تو آپ کے آلے پر بہت زیادہ حرارتی دباؤ پڑتا ہے۔ یقیناً، ویفر تیزی سے گرم ہو جاتا ہے، لیکن اس کے ارد گرد کے حصے بھی متاثر ہوتے ہیں۔ آپ کو اپنے کولنگ سسٹم کو اتنا مضبوط رکھنا ہوگا کہ وہ اس حرارت کو سنبھال سکے۔ اگر کولنگ سسٹم کمزور ہو، تو آپ کو توانائی کی بچت کے بدلے مشین خراب ہونے کا سامنا کرنا پڑے گا۔
اس کا فائدہ کیا ہے؟
پرانے حرارتی نظاموں کی جگہ IR لیمپوں کا استعمال کرنے سے پروسسنگ کا عمل بہت آسان ہو جاتا ہے۔ بہت سے پرانے سسٹموں کے لیے یہ تبدیلی بہت آسان ہے۔
ہم نے دیکھا کہ جتنے بہتر IR سینسر ہوتے ہیں، بجلی کی لاگت اتنی ہی کم ہوتی ہے۔ یہ ایک فائدہ مند تبدیلی ہے۔ کم فضول خرچی، کم ویفر خراب ہونے کے واقعات، اور کم کاربن فٹ پرنٹ۔