فوٹو ریزسٹ کو نرم بنانے کے عمل میں، صرف 1°C کا فرق بھی اہم خصوصیات کو متاثر کرنے کے لئے کافی ہے؛ اس سے بہت سے ویفرز ضائع ہو جاتے ہیں۔ روایتی اوونوں میں تو صرف چیمبر ہی گرم ہوتا ہے، ویفر خود نہیں۔ ہم نے ایسا سسٹم تیار کیا ہے جس میں حرارت براہِ راست ویفر پر پہنچتی ہے، اور یہ سسٹم ہر قسم کے فلموں کے لئے مناسب ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہمارے زونڈ انفراریڈ ماڈیولز، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے دائرے میں برقرار رکھتے ہیں؛ ہزاروں چکروں کے بعد بھی درجہ حرارت±0.5°C کے دائرے میں ہی رہتا ہے۔ شارٹ-ویو ایمیٹرز کی مدد سے نرم/سخت بیکنگ کے عمل کو تیزی سے انجام دیا جا سکتا ہے؛ کاربن-فائبر سے پاک ڈیزائن کی وجہ سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے – یہ سسٹم کلاس 1-100 کے ماحول میں بھی کام کرتا ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور حرارتی تغیرات کو کم کرکے پیداوار کو مستحکم رکھتا ہے۔
لیتھوگرافی لائنوں میں اس سسٹم کے استعمال کی وجہ یہ ہے کہ اس سے CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ ویفر کو خشک کرنے اور کناروں کے ذرات کو دور کرنے کے لئے، ہدفی زونڈ ہیٹنگ سے حل کا بخاراتی ہونے کا عمل تیز ہو جاتا ہے، اور اس طرح پیداوار بڑھ جاتی ہے اور توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔
فوٹو ریزسٹ کے بیکنگ پروفائل ہر بار یکساں رہتے ہیں، جس سے مشینوں کے درمیان تغیرات کم ہو جاتے ہیں۔ اس طرح پروسیس کے نتائج بہتر ہوتے ہیں، اور حرارتی عدم یکسانیت کی وجہ سے وقت ضائع کرنے کی ضرورت نہیں رہتی۔
عملی تفصیلات
زونڈ ہیٹنگ کو ٹریک یا کوٹر/بیکنگ پلیٹ فارم سے بہت اچھی طرح جوڑنا ضروری ہے؛ لیمپ زونوں کو سپن چک کی حرکت کے ساتھ ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ ریٹروفٹ بھی ممکن ہے، لیکن ہر آلے کے لئے میکانی ڈھانچے اور کولنٹ سسٹم کی جانچ ضروری ہے۔
کلین روم کے مطابق ایگزاسٹ سسٹم اور EMC شیلڈنگ کی ضرورت ہے، خاص طور پر ان آلات کے قریب جو الیکٹرومیگنیٹک مداخلت سے متاثر ہوتے ہیں۔ جب حرارتی پروفائل پیداواری عمل میں رکاوٹ نہیں رہتا، تو اس کے فوائد واضح ہو جاتے ہیں۔