Галогенний випромінювач в інфрачервоному діапазоні для сушіння пластин
На виробничій лінії один лише дефект на поверхні пластини може зруйнувати цілу партію продукції. Традиційні методи сушіння є складними – з одного...
Зоноване опалення для сучасних фабрик з виробництва пластин
На виробничій лінії достатньо зміни температури на 1°C під час процесу нагрівання фоторезисту, щоб це вплинуло на критичні розміри деталей та...