На поверхні камери для літографії похибка температури PEB є причиною відхилень параметрів CD та дрейфу профілів. Навіть незначна нерівномірність температури на всій площі пластини у розмірі 1°C достатня, щоб профілі фотополімеру вийшли за межі допустимих значень, що призводить до марнування годин роботи. Ми створили спеціальні нагрівачі PEB для підтримки стабільної температури протягом усього процесу обробки, незалежно від серії продукції.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо галогенові елементи короткохвильового інфрачервоного світла за кварцовим склом для швидкого та ефективного нагрівання. Рівномірність температури на всій площі пластини залишається на рівні ±0,1°C, а точність виконання процедури – у мілісекундах. Таким чином, однакові умови температурного режиму зберігаються як для першої, так і для 1000-ї серії продукції. Компоненти придатні для використання у чистих кімнатах класу 1–100; матеріали, з яких вони виготовлені, мають низький рівень випаровування, а процес їх використання контролюється для уникнення появи частинок. Відсутність утворення частинок під час нагрівання є очевидним фактом – це підтверджується безпосереднім контролем через систему вимірювання частинок біля самого обладнання.
Чому це важливо під час обробки фотополімеру
Етап PEB знаходиться між процесом експозиції та процесом розвитку. Саме тут завершується хімічне посилення сигналу та визначається ширина ліній. Наші нагрівачі забезпечують стабільні умови протягом цього етапу, що дозволяє зменшити відхилення параметрів CD та необхідність повторної обробки. Ця ж платформа може використовуватися як для м’якого, так і для жорсткого нагрівання; процес нагрівання контролюється за допомогою спеціальних профілів, що дозволяє скоротити час обробки без втрати контролю над параметрами. Крім того, оскільки SWIR нагріває саму пластину, а не стінки камери, споживання енергії знижується.
Кілька практичних порад
Під час встановлення необхідно враховувати розміри камери та інтерфейс обладнання. Перед встановленням потрібно переконатися у правильності механічної конструкції, наявності системи охолодження та електричних кабелів. SWIR забезпечує швидку реакцію, але необхідно стежити за оптичною вирівнованістю та чистотою скла, щоб зберегти рівномірність температури. Також необхідно регулярно перевіряти скло та замінювати лампи, щоб температурний профіл залишався стабільним протягом тривалої роботи обладнання.