На виробничому майданчику осадження — це не опція, а термічний етап, що видаляє фоторезист повністю, не пошкоджуючи шари під ним. Якщо температура відхиляється або профіль падає, з’являються залишки. Вихід продукції за лінією знижується, і лінійка для літографії страждає.
Що важливо під капотом
Ми побудували нагрівач для осадження на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання, використовуючи кварцево-галогенний масив випромінювачів, який швидко і стабільно реагує. В результаті отримуємо однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій зоні випікання та контроль температури, що підтримує задане значення протягом усього циклу зняття шару. Система працює в чистих приміщеннях класу 1–100 без генерації часток, що підтверджується ін-ситу моніторингом. Вихідна потужність стабільна понад 5,000 годин із дрейфом інтенсивності менш ніж 5%.
Чому це підходить для процесу
У технології обробки фоторезисту — софтбейк, експозиція, проявлення, хардбейк і осадження — повторюваність температури є ключовим тепловим параметром. Наш інфрачервоний нагрів швидко розігріває і так само швидко охолоджується, зберігаючи ідентичний температурний профіль від циклу до циклу. Менше переробок, менше браку та стабільний час циклу. Споживання енергії знижується, оскільки потужність випромінювача підлаштовується під фактичне навантаження, а не під найгірший випадок. Модуль інтегрується в існуючі лінії та установки для зняття шару з використанням стандартних механічних та електричних інтерфейсів.
Практичні деталі
Інфрачервоне осадження забезпечує чисте, контрольоване тепло, проте оптика та вікно випромінювача вимагають суворого дотримання правил чистого приміщення. Плануйте швидке вирівнювання та теплове картографування одразу після встановлення, а також квартальні інспекції вікон для контролю кількості часток. За такої дисципліни процес залишається у межах специфікацій, а виробнича лінія працює без зупинок.