Litografi işlemlerinde, PEB sıcaklık hatası, CD ölçülerinde sapmalara ve ürün kalitesinde bozulmalara yol açar. Wafer üzerindeki 1°C’lik bir düzensizlik bile, fotoresist profillerinin standartların dışına çıkmasına ve saatlerce süren işlerin boşa gitmesine neden olabilir. Bu yüzden, her parti için bu termal profilin belirlenen aralıkta kalmasını sağlamak amacıyla PEB ısıtıcılarımızı geliştirdik.
Önemli olan detaylar
Hızlı ve doğrudan ısıtma sağlamak için kuvars pencerenin arkasında kısa dalga boylu kızılötesi (SWIR) halojen elemanları kullanıyoruz. Böylece sıcaklık düzenliliği ±0,1°C seviyesinde kalıyor ve tekrarlanabilirlik değerleri milisaniyeler mertebesinde oluyor. Böylece hem 1. parti hem de 1000. parti için aynı termal profil elde edilebiliyor. Bu modül, sınıf 1–100 gereksinimlerine uygun olarak tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı olan malzemeler ve parçacık kontrolüne sahip bir yapıya sahiptir. Isıtma sırasında hiçbir parçacık oluşmaz; bu durum, cihazın arayüzünde yapılan parçacık izleme ile doğrulanır.
Fotoresist işlemlerinde bunun neden önemli olduğu
PEB adımı, maruz bırakma ve geliştirme işlemleri arasında yer alır. İşte burada kimyasal amplifikasyon işlemi tamamlanır ve çizgi genişliği sabitlenir. Isıtıcılarımız bu adımı daha hassas bir şekilde kontrol altında tutar, böylece CD ölçülerindeki sapmalar ve buna bağlı olarak ortaya çıkan yeniden işlemler azalır. Aynı platform hem yumuşak ısıtma hem de sert ısıtma işlemlerini destekler; böylece devre süresi kısalırken profil kontrolü de korunur. Ayrıca SWIR teknolojisi sayesinde wafer doğrudan ısıtılır, dolayısıyla enerji tüketimi azalır.
Bazı pratik notlar
Montaj işlemi, odanın boyutları ve cihazın arayüzüne uyum sağlamayı gerektirir. Entegrasyondan önce mekanik yapı, soğutma sistemleri ve elektriksel bağlantılar kontrol edilmelidir. SWIR teknolojisi hızlı tepki sağlar; ancak düzenliliği korumak için optik hizalamaların ve pencere temizliğinin iyi kontrol edilmesi gerekir. Uzun süreli üretim süreçlerinde termal profilin korunması için periyodik olarak pencere kontrolleri ve lamba değişimleri yapılmalıdır.