Parçacıkların Oluşmasını Önleme: Wafer’lerin Kurutulması Nasıl Yapılır?
100 sınıfı temiz odalarda çalışırken “biraz toz” diye bir şey yoktur. Küçük bir parça toz ya da ucuz ısıtıcı elemanlardan kaynaklanan gazlar, tüm silikon ürünlerinizi boşa çıkarır. Bu gerçekten korkunç bir durumdur.
Bu yüzden standart malzemeler kullanmayız. IR kurutma lambalarımız ve yansıtıcılarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanırız.
Sır, silisadadır.
Çoğu lamba basit kuvars kullanır; ancak biz metal iyonlarının hareket etmesini engellemek için kirleri ayıklarız. Eğer bir lambanın çalışırken duman çıkardığını gördüyseniz, neyden kaçındığımızı anlamışsınızdır. Kuvars tüpleri sıkıca kapatılır böylece halojen gazları iş alanınıza sızmaz ve her şey temiz kalır.
Bir de yansıtıcılar var. Eğer yansıtıcı kalitesizse, lamba işe yaramaz hale gelir. Bizim lambalarımız, kısa dalga boyundaki IR ışığını tam olarak gereken yere yönlendirir: doğrudan wafer’in üzerine. Enerji bu kadar yoğunlaştığı için, makinenizin diğer kısımları bu fazla ısıyı emmez. Böylece vakum sistemleri ve montaj braketleri serin kalır; bu da daha yüksek güç kullanabileceğiniz anlamına gelir.
Ancak dikkatli olmalısınız…
Bu lambalar çok ısınır. Gerçekten çok. Kurutma işlemi için hızlı bir ısınma sağlarlar; ancak dikkatli olmazsanız soğutma sisteminizi mahvedebilirler. Eğer hava akışı yeterince güçlü değilse, filamentler çok hızlı yanar. Sıkı bir soğutma planına uyun; böylece cebinizi korumuş olursunuz.
Biz bunları, yarı iletken ekipmanlarınız için basit ve kolayca yerine konabilen ürünler olarak üretiyoruz. Abartılı ifadeler yok; sadece wafer’lerinizi temiz tutacak yüksek kaliteli malzemeler kullanıyoruz.