MEMS kurutma işlemlerindeki lamba patlamalarının önüne geçmek
Eğer yüksek yoğunluklu üretim ortamlarında çalıştıysanız, bu tür stresleri biliyorsunuzdur. Ancak MEMS waferlerinin kurutulması sırasında bir infrared lambasının patlaması kadar kötü bir durum yoktur. Bu durum sadece üretimin durmasına neden olmaz; aynı zamanda kuvars parçaları ve tungsten filamentlerin waferlerin üzerine düşmesiyle tam bir felaket oluşur. Bunu asla yaşanmamasını sağlamak için çok çaba sarf ettik.
Kalıcı çözümler
Çoğu lamba, kapalı bölgelerdeki “sıcak noktalar” veya stres yüzünden patlar. Genellikle bu, camın ısıya uyum sağlayamamasından kaynaklanır. Bunu çözmek için daha kalın duvarlı, yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanıyoruz. Ayrıca filamentlerin merkezlenmesine de büyük önem veriyoruz. Böylece ısı dağılımı eşit olduğunda, cam basınç altında hasar görmez ve düzgün şekilde çalışır.
Karmaşayı engellemek
En iyi yapısal tasarımlarla bile bir yedek plana ihtiyacımız var. Isıtıcılarımızı koruyucu kuvars kılıflara yerleştiriyoruz. Bu da bir tür sigorta gibidir. Eğer tüp arızalanırsa, koruyucu kılıf enkazın waferlere ulaşmasını engeller.
Elektriksel sorunlar
Bağlantıların zayıf olması sonucu birçok lambanın eridiğini gördük. Bu da berbat bir durumdur. Bu tür sorunları önlemek için hassas bağlantı elemanları kullanıyoruz.
Gerçek dünyadaki trade-off’lar
İşin doğrusu şudur: Yüksek güçlü kısa dalga lambaları oldukça tehlikeli cihazlardır. Hızlı kurutma için gerekli olan ısı yoğunluğunu sağlarlar, ancak aynı zamanda çok fazla ısı yayılır. Bu lambaları maksimum seviyeye getirip iyi sonuçlar elde etmeyi bekleyemezsiniz. Gerçekten işi halledebilecek bir soğutma sistemi gereklidir. Eğer hava akışı yetersizse, ısı camın yapısını bozar ve lambanın ömrünü kısaltır.
Tavsiyem: Kasa sıcaklığını yakından izleyin. Ayrıca bakım ekibinizden her 500 saatte bir terminallerin gerginliğini kontrol etmelerini isteyin. Bu bir dakika sürebilir, ancak felaketî bir arızayı önler.