ในห้องผลิต การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ระหว่างกระบวนการอบโฟโตรีสิสต์ ก็เพียงพอที่จะทำให้ขนาดของชิ้นส่วนที่สำคัญเปลี่ยนแปลงไป...

ในห้องผลิต แต่ละวีเวอร์จะมีค่าพลังงานความร้อนที่กำหนดไว้ และไม่สามารถเกินค่านั้นได้...