ในห้องผลิต แต่ละวีเวอร์จะมีค่าพลังงานความร้อนที่กำหนดไว้ และไม่สามารถเกินค่านั้นได้ หากมีความผันผวนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจส่งผลให้เกิดความแปรปรวนของความหนาของวีเวอร์ รวมถึงการลดลงของประสิทธิภาพในการผลิตด้วย ราคาของหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับการใช้ในห้องผลิตนั้น ไม่ใช่เพียงแค่ค่าใช้จ่ายที่ต้องจ่ายตามใบสั่งซื้อเท่านั้น แต่ยังรวมถึงค่าใช้จ่ายในการรักษาความเสถียรของกระบวนการผลิตด้วย
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
หลอดไฟอินฟราเรดของเราช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร และในกระบวนการผลิต เรามักจะควบคุมความผันผวนของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ความแม่นยำนี้เกิดขึ้นได้จากการปรับสเปกตรัมอินฟราเรดให้เหมาะสมกับการดูดซับของโฟโตเรซิสต์ ทำให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการสัมผัสโดยตรง และมีอัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ ระบบนี้ถูกออกแบบมาให้ใช้ได้ในห้องผลิตที่มีมาตรฐานตั้งแต่ Class 1 ถึง Class 100 และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ขณะที่ใช้งาน ความน่าเชื่อถือของระบบนี้ได้รับการพิสูจน์แล้ว โดยสามารถใช้งานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% ซึ่งหมายถึงการหยุดการผลิตโดยไม่คาดคิดน้อยลง และไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนหลอดไฟบ่อย
เหตุผลที่ระบบนี้ได้ผลดีในจุดที่สำคัญ
ในขั้นตอนการพิมพ์และการเคลือบวัสดุ การควบคุมอุณหภูมิเป็นสิ่งสำคัญมาก เพราะมีผลโดยตรงต่อความหนาของโฟโตเรซิสต์ ความเหนียวของวัสดุ และความแม่นยำของขนาดวัสดุ การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำจะช่วยลดของเสีย ช่วยเร่งกระบวนการผลิต และช่วยลดการใช้พลังงานต่อวีเวอร์ เพราะไม่จำเป็นต้องใช้อุณหภูมิสูงเกินไป นอกจากนี้ การตอบสนองของหลอดไฟต่ออุณหภูมิที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาที่ไม่ได้ใช้งานระหว่างแต่ละชุดการผลิต ทำให้สามารถเพิ่มอัตราการผลิตได้ โดยไม่สร้างภาระความร้อนเพิ่มเติมให้กับห้องผลิต
สิ่งที่ต้องคำนึง
หลอดไฟจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีการปรับให้เข้ากับแรงดันไฟฟ้า ขั้วต่อ และรูปร่างของช่องรับแสงของเครื่องมือ การติดตั้งจำเป็นต้องมีการปรับแต่งทางออปติกอย่างแม่นยำ และต้องมีการปรับตั้งค่าเครื่องวัดอุณหภูมิให้เหมาะสมกับบริเวณที่มีการให้ความร้อน หากไม่ทำเช่นนี้ ค่าอุณหภูมิที่ตั้งไว้ก็จะมีความผันผวน ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการวางแผนการติดตั้งอย่างรอบคอบร่วมกับฝ่ายจำหน่ายอุปกรณ์ เพื่อปรับแต่งโปรไฟล์การให้ความร้อนและให้ระบบมีประสิทธิภาพสูงสุด