
Сокращение выбросов углерода на производстве: почему вакуумные инфракрасные нагреватели — лучший выбор
Если мы действительно хотим достичь целей по снижению выбросов углерода на производстве, нам необходимо прекратить тратить энергию впустую. Старый способ — использование резистивных нагревателей — по сути подобен попытке нагреть整个 дом только для того, чтобы согреть одного человека. При этом нагревается вся комната, хотя большая её часть вообще не нуждается в нагреве.
Поэтому мы перешли на вакуумные инфракрасные нагреватели. Вместо нагрева воздуха мы направляем тепло непосредственно на кристалл. Это позволяет избежать лишних затрат на энергию и сокращает время подготовки оборудования к работе. Это более эффективный способ управления производством «зеленой» фабрики.
Физика процесса (без сложных формул)
В вакууме нет воздуха, который мог бы передавать тепло. Мы полагаемся исключительно на излучение. Мы настроили эти инфракрасные нагреватели так, чтобы они излучали коротковолновое излучение. Оно проникает прямо в поверхность кристалла, не тратя энергию на нагрев стенок камеры. Это значит, что не нужно постоянно бороться с эффектом охлаждения от вакуумного насоса. Энергия распределяется там, где это необходимо, что позволяет снизить расходы на электроэнергию за единицу продукции.
Оборудование и связанные с ним проблемы
Для нагрева мы используем высокочистый кварц и специальные нитьки. Но есть и недостаток: когда вы размещаете высокомощные лампы в тесном вакуумном пространстве, интенсивность тепла становится очень высокой. Необходимо правильно спроектировать систему охлаждения. Если система охлаждения слишком мала или перестает функционировать, лампы быстро выгорают. Термические напряжения на уплотнениях также могут привести к повреждению оборудования.
Интеграция в рабочий процесс
Самое прекрасное в этих нагревателях то, что они можно использовать вместо старых. Мы используем стандартные соединители, поэтому не нужно тратить недели на переподключение оборудования. Разница в скорости работы очевидна: вместо часов ожидания времени нагрева достаточно всего нескольких минут. Это не только экономит энергию, но и позволяет обрабатывать больше кристаллов без необходимости увеличения площади производства.
Конечно, система управления мощностью сложнее, так как необходимо контролировать параметры работы оборудования. Но если учесть количество углерода, которое можно сократить за единицу продукции, становится ясно, что это отличный вариант для современного оборудования.