Na hali produkcyjnej ashing nie jest opcją — to etap termiczny, który usuwa warstwę fotorezystu, nie naruszając jednocześnie filmów pod spodem. Jeśli...

Przechodząc po hali produkcyjnej, podejście jest oczywiste: każda część jest dobierana tak, aby dostarczać ciepło bez strat. Zaczynamy od surowców...