Stop met tijd verspillen aan langzaam opwarmen
Laten we eerlijk zijn: geforceerde luchtcirculatie is een obstakel. Je verwarmt eigenlijk alleen de lucht, zodat deze uiteindelijk je ondergrond kan opwarmen. In de wereld van diepverwerkende半导休technologieën is deze vertraging een dodelijke factor. Het vermindert je productiesnelheid en kost uren aan productietijd.
We lossen dit op door de tussenpersoon weg te laten. We gebruiken ozonvrije infrarode (IR)-lampen.
Hoe het werkt
In plaats van te wachten op een bries, gebruiken IR-lampen elektromagnetische golven. De warmte bereikt je doelwit direct.
Je maakt je misschien zorgen over contaminatie. Daarom gebruiken we ozonvrije kwartsomhulsels. Dit houdt het spectrum schoon, zodat er geen O3 is dat je schone ruimte of je wafers beschadigt.
Het resultaat? Het opwarmproces gebeurt bijna meteen. Het duurt nu maar seconden in plaats van minuten.
Meer warmte, minder ruimte
Deze lampen geven veel warmte af in een kleine ruimte. Als je werkt in kleine ruimtes waarin een grote blazer of complexe leidingen niet passen, is dit de oplossing.
Bovendien is de warmte gericht, zodat je precies kunt bepalen waar de energie naartoe gaat. Je hoeft de hele machine niet met warmte te vullen en te hopen dat het apparaat niet oververhit raakt. Het is dus precies.
Één ding om in de gaten te houden
Er is één nadeel: directe straling is intens.
Je bespaart zeker veel tijd op het opwarmen, maar omdat de energiedichtheid zo hoog is, moet je goed opletten met de koeling tijdens het ‘uit’-proces. Als de koeling niet goed werkt, kan de ondergrond oververhit raken. Het is een compromis, maar het is wel te beheren.
Waarom overstappen?
De meeste bedrijven die zich richten op hoge productiesnelheden en hoge nauwkeurigheid, hebben al deze stap gezet.
Het is een eenvoudige vervanging voor de traditionele warmtedistributiesystemen in de meeste diepverwerkingslijnen. Je hoeft niet meer te vechten tegen onvoorspelbare luchtcirculaties; je kunt nu precies bepalen waar de energie naartoe gaat.
Uiteindelijk betekent dit dat er elke shift meer wafers door de lijn gaan. Simpel gezegd.