Mengendalikan Suhu di Pabrik Cerdas
Membangun pabrik cerdas bukan sekadar memasang sejumlah sensor pada peralatan yang digunakan, lalu berharap semuanya berjalan dengan baik. Yang penting adalah mengubah cara kita memandang masalah suhu.
Untuk proses pengolahan wafer, kita beralih ke sistem inframerah tanpa kontak. Keunggulan sistem ini adalah ia tidak menyentuh permukaan wafer sama sekali. Dengan demikian, tidak akan terjadi kontaminasi. Selain itu, kita juga tidak perlu khawatir bahwa sensor tersebut akan mempengaruhi hasil pengukuran. Sensor tersebut hanya bertugas mengamati dari jarak jauh saja.
Pemetaan Suhu Secara Digital
Inilah cara kerjanya: sistem inframerah mendeteksi radiasi yang dipancarkan oleh permukaan wafer. Dalam sistem modern, energi termal tersebut diubah menjadi data yang dapat dimengerti oleh sistem PLC atau SCADA. Proses ini berlangsung sangat cepat, dalam hitungan milidetik saja. Anda dapat segera mengetahui titik-titik yang memiliki suhu tinggi pada wafer berdiameter 300 mm. Jika suhu dinaikkan secara drastis, perubahan suhu tersebut akan segera terlihat. Hal ini memberi kesempatan bagi kita untuk menyesuaikan suplai daya sehingga profil suhu tetap stabil, sebelum wafer rusak. Itu merupakan keuntungan yang besar.
Sistem Umpan Balik Terpusat
Pabrik cerdas membutuhkan sistem umpan balik terpusat agar bisa berfungsi dengan baik. Sensor inframerah tersebut terhubung langsung ke logika kontrol peralatan. Sistem akan memeriksa suhu permukaan wafer, membandingkannya dengan nilai yang diinginkan, lalu menyesuaikan keluaran pemanasnya secara instan. Tidak perlu lagi menebak-nebak. Kita pun memiliki “versi digital” dari proses termal tersebut, sehingga setiap wafer memiliki peta suhu tersendiri, siap digunakan saat inspektur kualitas datang.
Kekurangan-Kelebihannya
Tentu saja, tingkat presisi yang tinggi juga disertai dengan beberapa masalah. Sensor inframerah membutuhkan kondisi emisivitas yang spesifik. Jika lapisan pelindung wafer berubah atau bahan yang digunakan berubah, maka nilai emisivitasnya juga berubah. Jika tidak dilakukan kalibrasi ulang, maka akan muncul data suhu yang tidak akurat. Selain itu, kaca optik yang berada di antara sensor dan wafer harus tetap bersih. Jika ada kotoran yang menumpuk di kaca tersebut, sinyalnya akan terhambat. Data yang didapatkan pun akan tidak akurat, dan kita harus memulai prosesnya dari awal lagi.