Mengapa kita beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk semikonduktor bebas timbal
Industri ini berusaha keras untuk menerapkan standar “hijau” dan penggunaan bahan-bahan yang bebas timbal. Hal ini memang terdengar bagus secara teori, tetapi dalam praktiknya, hal ini justru membuat proses fabrikasi menjadi lebih rumit.
Selama ini, kita menggunakan oven konveksi untuk proses pengeringan. Masalahnya adalah, oven tersebut sebenarnya hanya digunakan untuk memanaskan udara di dalamnya. Ini merupakan pemborosan energi, dan sejujurnya, cara ini juga berisiko. Udara panas tersebut dapat menimbulkan partikel-partikel yang akhirnya menempel pada permukaan wafer.
Itulah mengapa kita menggunakan metode pengeringan menggunakan sinar inframerah. Alih-alih memanaskan udara, kita menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tidak ada perantara, tidak ada udara panas. Hanya energi yang digunakan tepat di tempat yang diperlukan.
Menentukan jarak yang tepat
Dalam penggunaan sinar inframerah, jarak antara lampu dan substrat sangat penting. Inilah satu-satunya hal yang perlu dikontrol agar suhu tetap stabil.
Sinar inframerah berfrekuensi rendah sangat efektif karena mampu menembus lapisan fotoresist atau lapisan perekat dengan baik, sehingga proses pengeringan berlangsung lebih cepat. Namun, kita harus berhati-hati. Jika lampu terlalu dekat, maka akan terjadi titik-titik panas yang berbahaya, bahkan bisa merusak tepi wafer. Jika lampu terlalu jauh, maka intensitas panas akan menurun, sehingga waktu proses pengeringan menjadi lebih lama.
Kita perlu meluangkan waktu untuk menyesuaikan jarak tersebut berdasarkan daya lampu dan suhu yang dibutuhkan oleh wafer. Kita ingin mencari titik optimal agar panasnya merata di seluruh permukaan wafer.
Minim limbah, cepat proses
Metode pengeringan menggunakan sinar inframerah merupakan proses “kering”. Kita tidak perlu khawatir tentang cairan pemanas yang kotor atau konsumsi listrik yang tinggi akibat pemakaian ruangan yang panas.
Yang terbaik adalah waktu pengaktifan lampu tersebut. Lampu-lampu ini dapat mencapai suhu operasional dalam beberapa milidetik saja. Anda tidak perlu menunggu selama satu jam agar mesin siap digunakan. Prosesnya sangat cepat.
Masalahnya: Mengendalikan panas
Namun, ada trade-off yang perlu diperhatikan. Lampu inframerah berintensitas tinggi menghasilkan banyak sekali energi. Meskipun wafer mendapatkan panas yang diperlukannya, bagian lampu dan rangka mesin akan terpengaruh negatif.
Anda tidak boleh sembarangan memasang lampu-lampu ini ke dalam chasis biasa. Jika sistem pendinginan tidak memadai, panas yang dipancarkan oleh wafer akan merusak lampu tersebut.
Yang penting adalah sistem pendinginan yang efektif. Dengan demikian, peralatan Anda akan bertahan lebih lama. Jika sistem pendinginan tidak diperhatikan, maka lampu-lampu tersebut akan rusak dengan cepat.