Di lantai produksi, setiap wafer memiliki batas suhu tertentu yang tidak boleh dilampaui. Jika suhu naik atau turun sedikit saja, hal tersebut akan menyebabkan perubahan ketebalan garis pada wafer, munculnya kotoran pada permukaan wafer, dan penurunan tingkat produksi. Harga lampu pemanas inframerah bukan hanya ditentukan oleh harga pembeliannya saja, tetapi juga oleh kemampuan lampu tersebut dalam menjaga stabilitas proses produksi.
Yang penting secara teknis
Lampu pemanas inframerah kami mampu menjaga keseragaman suhu hingga di bawah milimeter di seluruh permukaan wafer. Dalam proses pemanasan, variasi suhu biasanya dikendalikan dalam rentang ±0,1°C. Kesempurnaan ini dicapai dengan menyesuaikan spektrum cahaya inframerah agar sesuai dengan tingkat penyerapan cahaya oleh bahan fotoresist. Dengan demikian, pemanasan dapat dilakukan secara cepat dan tanpa kontak langsung, dengan laju pemanasan yang konsisten. Sistem ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1 hingga kelas 100, dan tidak menghasilkan partikel apa pun saat beroperasi. Keandalan sistem ini telah terbukti, karena unit ini dapat beroperasi hingga 5.000 jam lebih, dengan penurunan performa kurang dari 5%. Hal ini berarti ada lebih sedikit gangguan operasional dan kebutuhan untuk mengganti lampu.
Mengapa sistem ini efektif
Dalam proses litografi, kontrol suhu sangat penting karena berpengaruh langsung pada ketebalan bahan fotoresist, tingkat adhesinya, serta kontrol ukuran wafer. Kontrol suhu yang baik dapat mengurangi limbah hasil produksi, mempercepat proses produksi, serta menghemat energi yang digunakan untuk memanaskan wafer. Respons suhu yang cepat dari lampu ini juga memperpendek waktu tunggu antara setiap batch produksi, sehingga produksi dapat berjalan lebih lancar tanpa menambah beban termal pada chamber.
Hal-hal yang perlu diperhatikan
Lampu akan berfungsi dengan optimal jika voltase, konektor, dan geometri lubang lampu cocok dengan spesifikasi alat pemrosesan wafer. Pemasangan lampu membutuhkan penyetelan optik yang tepat serta kalibrasi pirometer terhadap zona pemanasan. Jika hal ini tidak dilakukan, maka akan terjadi kesalahan dalam pengendalian suhu. Pastikan ada waktu yang cukup untuk berkoordinasi dengan pemasok peralatan guna menyetel profil pemanasan dan memastikan sistem pengendalian suhu berfungsi dengan baik.