फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया में 1°C का अंतर ही उत्पादों के आयामों में बदलाव ला सकता है; इससे बहुत सारे वेफर बर्बाद हो जाते हैं। पारंपरिक ओवनों में तो केवल चेंबर ही गर्म होता है, वेफर खुद नहीं। हमने ऐसी व्यवस्था विकसित की है, जिससे ऊष्मा सीधे वेफर पर ही पहुँचे, एवं हर फिल्म के लिए निर्धारित तापमान सीमा का पालन हो सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हमारे ज़ोन्ड स्टाइल के इन्फ्रारेड मॉड्यूल, एक्टिव ज़ोन में वेफर के तापमान को ±0.1°C की सीमा में बनाए रखते हैं; हजारों चक्रों के बाद भी तापमान में ±0.5°C से अधिक का अंतर नहीं आता। शॉर्ट-वेव एमिटरों की मदद से फोटोरेजिस्ट को जल्दी ही नरम/कठोर अवस्था में लाया जा सकता है। कार्बन-फाइबर-रहित डिज़ाइन की वजह से, आवश्यक स्थानों पर कणों की संख्या कम रहती है – यानी क्लास 1–100 वाले वातावरण में। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, एवं 5,000+ घंटों तक भी आउटपुट स्थिर रहता है।
लिथोग्राफी लाइनों में इसका उपयोग
लिथोग्राफी लाइनों में ऐसी सटीकता से उत्पादों के आयामों पर बेहतर नियंत्रण रखा जा सकता है, जिससे पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है। वेफर को सुखाने एवं उसके किनारों से अशुद्धियों को हटाने हेतु, लक्षित क्षेत्रों में ही ऊष्मा दी जाती है; इससे सॉल्वेंट जल्दी ही वाष्पित हो जाता है, एवं सब्सट्रेट खराब नहीं होता। इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं ऊर्जा की खपत कम हो जाती है।
व्यावहारिक विवरण
ज़ोन्ड स्टाइल की हीटिंग प्रणाली को ट्रैक/कोटर/बेक प्लेटफॉर्म के साथ अच्छी तरह एकीकृत करना आवश्यक है – लैंपों की स्थिति को स्पिन चक की गति के साथ सिंक्रोनाइज़ करना आवश्यक है। रीट्रोफिटिंग भी संभव है, लेकिन प्रत्येक उपकरण के लिए मैकेनिकल संरचना एवं कूलंट सिस्टम की जाँच आवश्यक है।
क्लीनरूम-अनुकूल एक्सहॉस्ट सिस्टम एवं EMC शील्डिंग भी आवश्यक है, खासकर उन उपकरणों के पास, जो हस्तक्षेपों के प्रति संवेदनशील हैं। जैसे ही तापमान संबंधी समस्याएँ दूर हो जाती हैं, उत्पादन दर में वृद्धि हो जाती है।