फैब्रिकेशन लाइन पर, प्रोब कार्ड स्कोप के नीचे ही रहता है; अगले लॉट को चलाने का इंतज़ार कर रहा है। यदि वेफर का तापमान थोड़ा भी बदल जाए, तो पैरामीटर्स में बदलाव हो जाता है, और उत्पादन की गुणवत्ता में गिरावट आ जाती है। हमने ऐसा ही वेफर-प्रोब हीटर बनाया है, ताकि तापमान में होने वाले इस बदलाव को शुरुआती ही स्तर पर रोका जा सके… ठीक उसी जगह, जहाँ प्रोब वेफर को छूता है।
परीक्षण के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करता है; इससे क्वार्ट्ज थर्मल पथ में तापमान नियंत्रित रहता है। वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, और प्रत्येक बार परीक्षण करने पर भी परिणाम स्थिर रहता है… क्योंकि नियंत्रण प्रणाली वर्कपीस पर ही है, हीटर के शरीर पर नहीं। यह उपकरण सामान्य प्रोब स्टेशनों में भी उपयोग में आ सकता है… और हॉट ज़ोन को अलग रखा गया है, ताकि स्टेज की गति से कोई कण उड़ने न पाएं। सील्ड मटेरियल्स एवं ऐसी हवा-प्रणाली के कारण यह उपकरण क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही काम कर सकता है।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता
यह प्रोब हीटर, अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरणों के समकक्ष ही बनाया गया है… और इसकी जाँच भी उसी मानक के आधार पर की गई है। क्वालिफिकेशन सेलों में यह 24/7 काम करता है… तापमान संबंधी किसी भी समस्या के बिना। जब फोटोरेसिस्ट की जाँच की जाती है, तो यह उपकरण तापमान को नियंत्रित रखता है… ताकि तापमान संबंधी असमानताओं के कारण उत्पादन प्रभावित न हो। इसके परिणामस्वरूप कम पुनरावृत्तियाँ होती हैं… पैरामीटर्स स्थिर रहते हैं… और ऊर्जा की खपत भी कम होती है।
कुछ व्यावहारिक टिप्स
इसकी स्थापना बहुत ही आसान है… लेकिन हीटर को एक विशेष, फिल्टर्ड आपूर्ति आवश्यक है… ताकि क्लीनरूम में हवा की गुणवत्ता बनी रहे… एवं समय के साथ कोटिंग में कोई क्षति न हो। आपके स्टेशन के यांत्रिक इंटरफेस एवं कनेक्टरों के अनुरूप ही इसे स्थापित करना आवश्यक है… ताकि इसे आसानी से उपयोग में लाया जा सके। एक बार इसे सही तरीके से स्थापित कर देने के बाद, यह बिना किसी समस्या के ही काम करता रहता है… आपको अपनी प्रक्रिया में कोई बदलाव करने की आवश्यकता ही नहीं है।