धीमी गति से होने वाली ऊष्मा-प्रक्रियाओं में समय बर्बाद न करें।
ईमानदारी से कहें तो, फोर्स्ड एयर कंवेक्शन विधि बेकार है। आप वास्तव में हवा को गर्म कर रहे हैं, ताकि वह हवा आपके सब्सट्रेट को गर्म कर सके। सेमीकंडक्टर उत्पादन में ऐसी देरी बहुत ही हानिकारक है… यह आपकी उत्पादन क्षमता को कम कर देती है, एवं कई घंटों का समय भी बर्बाद हो जाता है।
हम इस समस्या का समाधान इस तरह करते हैं – हम मध्यवर्ती तत्वों को हटा देते हैं, एवं ऑजोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं।
यह वास्तव में कैसे काम करता है?
हवा का इंतज़ार करने के बजाय, इन्फ्रारेड लैंप विद्युत-चुम्बकीय तरंगों का उपयोग करते हैं… इससे ऊष्मा सीधे ही आपके सब्सट्रेट तक पहुँच जाती है।
अब, आपको संदूषण की चिंता हो सकती है… इसीलिए हम ऑजोन-रहित क्वार्ट्ज आवरणों का उपयोग करते हैं… इससे वातावरण स्वच्छ रहता है, एवं O3 के कारण आपके सब्सट्रेट को कोई नुकसान नहीं पहुँचता।
परिणाम? ऊष्मा-प्रक्रिया लगभग तुरंत ही हो जाती है… अब वार्म-अप प्रक्रिया मिनटों में ही पूरी हो जाती है।
अधिक ऊष्मा, कम जगह
इन लैंपों में बहुत अधिक ऊष्मा होती है… लेकिन इनका आकार बहुत ही छोटा होता है… यदि आप ऐसे कमरों में काम कर रहे हैं, जहाँ बड़े ब्लोअर या डक्टिंग सिस्टम फिट नहीं हो पाते, तो यही विकल्प है।
इसके अलावा, चूँकि ऊष्मा दिशात्मक होती है, इसलिए आप खुद ही तय कर सकते हैं कि ऊष्मा कहाँ जाए… आपको पूरी मशीन में ऊष्मा फैलाने की आवश्यकता नहीं है… यह बहुत ही सटीक विधि है।
ध्यान देने योग्य बात
एक बात ध्यान रखें… प्रत्यक्ष विकिरण बहुत ही शक्तिशाली होता है… इससे आपको ऊष्मा-प्रक्रिया में बहुत समय की बचत होगी… लेकिन चूँकि ऊर्जा-घनत्व बहुत अधिक होता है, इसलिए “ऑफ” मोड में ठीक से शीतलन आवश्यक है… यदि शीतलन ठीक से न हो, तो सब्सट्रेट को नुकसान पहुँच सकता है… यह एक संतुलन है… लेकिन इसे संभाला जा सकता है।
क्यों बदलना आवश्यक है?
जो कंपनियाँ उच्च-मात्रा एवं उच्च-सटीकता वाले कार्यों के लिए काम कर रही हैं, वे पहले ही इस विधि को अपना चुकी हैं…
यह तो बस थर्मल प्रक्रियाओं के लिए एक सरल विकल्प है… आपको अब अनियमित हवा-प्रवाह से जूझने की आवश्यकता नहीं है… बस फोटॉनों का ही उपयोग करें…
अंत में, इससे हर शिफ्ट में अधिक संख्या में वेफर तैयार हो जाते हैं… बस इतना ही।