फैब फ्लोर पर, अशिंग एक विकल्प नहीं है—यह वह थर्मल स्टेप है जो फोटोरेसिस्ट को बिना नीचे की फिल्मों को नुकसान पहुंचाए पूरी तरह साफ करता है। अगर तापमान में विचलन होता है या प्रोफाइल ढीला पड़ता है, तो अवशेष रह जाते हैं। लाइन यील्ड प्रभावित होता है, और लिथोग्राफी स्टैक को इसका भुगतान करना पड़ता है।
जो महत्वपूर्ण है
हमने अशिंग हीटर को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड के आधार पर डिजाइन किया है, जिसमें क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटर एरे शामिल है जो तेज़ और पुनरावृत्ति योग्य प्रतिक्रिया देता है। इसके परिणामस्वरूप बेक ज़ोन में ±0.1°C के भीतर वेफर-स्तरीय समानता मिलती है, और तापमान नियंत्रण पूरे स्ट्रिप साइकिल के दौरान सेटपॉइंट पर कायम रहता है। सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूम में शून्य कण जनरेशन के साथ संचालित होता है, जिसका सत्यापन इन-सиту मॉनिटरिंग द्वारा किया जाता है। यह 5,000+ घंटों तक स्थिर आउटपुट प्रदान करता है, जिसमें तीव्रता विचलन 5% से कम होता है।
यह फ्लो के लिए क्यों उपयुक्त है
फोटोरेसिस्ट प्रोसेसिंग—सॉफ्ट बेक, एक्सपोजर, डेवलप, हार्ड बेक, फिर अशिंग—में तापमान की पुनरावृत्ति थर्मल बजट होती है। हमारा IR हीट तेज़ी से रैंप करता है, तेज़ी से ठंडा होता है, और हर रन में प्रोफाइल को समान रखता है। पुनःकार्य के कम बैच, कम स्क्रैप, और विश्वसनीय साइकिल टाइम सुनिश्चित होता है। ऊर्जा की खपत कम होती है क्योंकि एमिटर पावर वास्तविक लोड के अनुसार होता है, न कि सबसे खराब स्थिति के अनुसार। यह मॉड्यूल मौजूदा ट्रैक्स और स्ट्रिप टूल्स में मानक मैकेनिकल और इलेक्ट्रिकल इंटरफेस के साथ फिट हो जाता है।
व्यावहारिक विवरण
इन्फ्रारेड अशिंग साफ और नियंत्रित गर्मी प्रदान करता है, लेकिन ऑप्टिक्स और एमिटर विंडो के लिए क्लीनरूम हैंडलिंग सख्त आवश्यक होती है। इंस्टॉलेशन के तुरंत बाद एक त्वरित अलाइनमेंट और थर्मल मैपिंग की योजना बनाएं, और कण संख्या को नियंत्रित रखने के लिए त्रैमासिक विंडो निरीक्षण कैलेंडर में डालें। इस अनुशासन के साथ, प्रक्रिया विशिष्टताओं में बनी रहती है और उत्पादन लाइन निरंतर चलती रहती है।