MEMS वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में लैंप फटने की समस्या को रोकना
यदि आपने कभी उच्च-लोड वाले उत्पादन वातावरण में काम किया है, तो आपको वहाँ का तनाव पता ही होगा। लेकिन MEMS वेफरों को सुखाने के दौरान आईआर लैंप फटना तो वाकई एक भयानक स्थिति है।
यह सिर्फ उत्पादन प्रक्रिया में रुकावट ही नहीं है… इसके परिणाम भी भयानक होते हैं। क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट वेफरों पर गिर जाते हैं… यह तो वाकई एक बड़ी आपदा है। हमने ऐसी स्थितियों से बचने के उपाय ढूँढने में बहुत समय लगाया।
लैंपों को टिकाऊ बनाना
अधिकांश लैंप “हॉट स्पॉट” या सीलिंग भागों पर होने वाले दबाव के कारण ही फट जाते हैं। आमतौर पर यह असमान विस्तार के कारण होता है… काँच गर्मी को सहन नहीं कर पाता, और फट जाता है।
इस समस्या को हल करने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… साथ ही फिलामेंटों को सही जगह पर रखने का भी ध्यान रखते हैं। ऐसा करने से ट्यूब में गर्मी समान रूप से वितरित होती है… इससे काँच पर कोई दबाव नहीं पड़ता… और लैंप ठीक ही काम करता है।
गंदगी को रोकना
बेहतरीन निर्माण व्यवस्था होने के बावजूद भी हम एक बैकअप योजना का उपयोग करते हैं। हम अपने हीटरों को सुरक्षात्मक क्वार्ट्ज कवरों/विशेष सुरक्षा उपकरणों में रखते हैं… यह तो एक तरह का “बीमा” ही है। यदि कभी ट्यूब फट जाए, तो ये सुरक्षा उपकरण टुकड़ों को वेफरों तक पहुँचने से रोक देते हैं।
इलेक्ट्रिकल समस्याओं के लिए भी हम उच्च-गुणवत्ता वाले कनेक्टरों का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से विद्युत धारा सही तरीके से प्रवाहित होती है… और कोई गड़बड़ी नहीं होती।
वास्तविक दुनिया में चुनौतियाँ
सच तो यह है कि उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत ही खतरनाक होते हैं… ये तेज़ गति से वेफरों को सुखाने में मदद करते हैं… लेकिन ये बहुत ही अधिक ऊष्मा भी उत्पन्न करते हैं।
आप इन लैंपों को अधिकतम स्तर पर चालू नहीं कर सकते… आपको ऐसी शीतलन प्रणाली की आवश्यकता है जो इस अधिक ऊष्मा को संभाल सके। यदि हवा का प्रवाह कम हो, तो गर्मी के कारण लैंप की सीलिंग खराब हो जाती है… और लैंप की उम्र भी कम हो जाती है।
मेरी सलाह है… अपने लैंपों के तापमान पर नज़र रखें… एवं अपनी रखरखाव टीम को हर 500 घंटों में टर्मिनलों की जाँच करने के लिए कहें। यह थोड़ा समय लेता है… लेकिन इससे आप भयानक विफलताओं से बच सकते हैं।