Sur le sol de production, la carte de test se trouve sous le microscope, prête à être utilisée pour le prochain lot de puces. Si la température de la puce varie ne serait-ce que d’une petite fraction de degré, les paramètres de fonctionnement s’ajustent automatiquement, ce qui entraîne une baisse de la qualité des produits fabriqués. Nous avons conçu cet chauffage spécialement pour éviter cette variation de température, justement là où la sonde entre en contact avec la puce.
Ce qui est vraiment important lors du test L’appareil utilise des éléments infrarouges à courtes ondes pour chauffer la puce, via un circuit thermique en quartz. Cela permet une réponse rapide et une faible inertie thermique. La uniformité de température sur toute la surface de la puce reste dans les limites de ±0,1°C. De plus, la reproductibilité entre différentes séries de production est excellente, car le système de contrôle se trouve directement sur la pièce à traiter, et non sur le corps du chauffage. Ce dispositif peut être intégré facilement dans les stations de test standards. La zone chaude est isolée, afin que les mouvements de la machine ne provoquent pas l’élevage de particules. Grâce aux matériaux étanches et au flux d’air contrôlé, cet appareil peut fonctionner dans des salles propres de classe 1–100.
Pourquoi il fonctionne bien en production Ce chauffage a été conçu pour être équivalent aux modules thermiques utilisés dans les équipements de semi-conducteurs internationaux. Il a été testé conformément aux mêmes critères d’acceptation. Dans les cellules de test, il fonctionne 24/7, sans interruptions dues à des variations de température. Lors du traitement des photorésistances, il maintient des températures stables, ce qui permet de contrôler précisément les dimensions critiques des puces. En résulte moins de tentatives de réparation, des paramètres plus stables, et une consommation d’énergie réduite, car les cycles de chauffage sont plus courts.
Quelques conseils pratiques L’installation est simple. Cependant, le chauffage nécessite une alimentation dédiée et filtrée, afin de maintenir la qualité de l’air dans la salle propre et d’éviter la dégradation du revêtement au fil du temps. Il est essentiel que l’interface mécanique et les connecteurs correspondent à ceux de votre station de test, afin que l’appareil puisse être utilisé directement. Une fois installé, il remplace simplement l’ancien chauffage, sans nécessiter de modifications dans votre procédé de fabrication.