Sur le poste de lithographie, une erreur de température lors du processus PEB peut rapidement entraîner des écarts dans la largeur des lignes gravées sur la pâte photosensible, ainsi que des déviations dans sa distribution. Une non-uniformité de 1 °C sur toute la surface de la pâte suffit à faire sortir les paramètres de celle-ci de la plage prescrite, ce qui entraîne des heures de travail perdues. Nous avons conçu nos chauffages pour le processus PEB afin de maintenir ce profil thermique dans les limites autorisées, lot après lot.
Ce qui est important dans ce processus Nous utilisons des éléments calorifiques à infrarouges à ondes courtes derrière une fenêtre en quartz, ce qui permet un chauffage rapide et direct, avec une réponse en quelques millisecondes. L’uniformité de la température sur toute la surface de la pâte reste donc à ±0,1 °C. La répétabilité est également excellente, ce qui signifie que le même profil thermique est obtenu tant pour le premier lot que pour le 1000e lot. Le module est adapté aux environnements de classe 1–100, avec des matériaux peu émetteurs de gaz et un système de contrôle des particules. L’absence totale de génération de particules pendant le processus de chauffage n’est pas seulement un avantage théorique : elle est vérifiée par un suivi en temps réel des particules juste à l’interface du dispositif.
Pourquoi c’est important dans le traitement de la pâte photosensible L’étape PEB se situe entre l’exposition et le développement. C’est là que l’amplification chimique s’achève et que la largeur des lignes gravées est fixée. Nos chauffages permettent de maintenir cette étape stable, ce qui réduit les écarts dans la largeur des lignes et les retouches nécessaires. La même plateforme peut être utilisée pour différents types de traitements de chauffage, avec des profils de chauffage adaptés, ce qui permet de raccourcir le temps de traitement sans perdre le contrôle sur les paramètres de la pâte. De plus, comme les infrarouges à ondes courtes chauffent directement la pâte, plutôt que les parois de la chambre, l’utilisation d’énergie diminue.
Quelques conseils pratiques L’installation dépend de la compatibilité entre les dimensions de la chambre et l’interface du dispositif. Avant d’intégrer le dispositif, il convient de vérifier les éléments mécaniques, les circuits de refroidissement et les connections électriques.
Les infrarouges à ondes courtes permettent un chauffage rapide, mais il est nécessaire de maintenir une bonne alignement optique et une propreté optimale de la fenêtre, afin de préserver l’uniformité de la température. Il est donc important de planifier des inspections régulières de la fenêtre et du système de lampe, afin que le profil thermique reste stable pendant de longues périodes de production.