Hören Sie auf, auf den Ofen zu warten: Warum IR-Heizung im Halbfertigungsprozess besser ist als Heißluft
Ich sehe immer noch zu viele Halbleiterfertigungsanlagen, die auf die Verwendung von Heißluft angewiesen sind. Meistens liegt das daran, dass „man es eben schon immer so gemacht hat“. Doch wenn man mit einer veralteten Anlage arbeitet, zahlt man im Grunde jeden Tag einen „Zeitpreis“.
Luft ist einfach nicht gut darin, Wärme zu transportieren. Man muss minutenlang warten, bis die Luft schließlich das Substrat erwärmt hat. Und jedes Mal, wenn jemand die Ofentür öffnet, geht all diese kostbare Energie einfach verloren. Das ist frustrierend.
Der eigentliche Unterschied liegt darin, wie die Wärme tatsächlich übertragen wird.
Bei der Verwendung von Heißluft muss die gesamte Kammer vorher erhitzt werden, bevor das Bauteil überhaupt reagiert. Das ist sehr langsam. Bei Infrarot-Heizung ist das anders: Dabei werden elektromagnetische Wellen verwendet, um direkt auf das Werkstück einzuwirken. Es gibt keinen Zwischenmedium – man muss nicht warten, bis die Luft warm wird.
Es funktioniert sofort. Man kann dadurch die Aufwärmzeit von Minuten auf nur wenige Sekunden reduzieren. Das ist eine enorme Verbesserung für den Arbeitsablauf.
Hier machen die Leute usually Fehler: bei der Verkabelung.
Wenn man IR-Heizungen einsetzt, sollte man nicht einfach irgendeine Kabelverbindung verwenden. Normales PVC-Kabel schmilzt unter solchen Bedingungen. Wenn man mit solchen hohen Temperaturen umgeht, reißen die Kabel oder es entstehen Gase – und plötzlich ist die ganze Anlage ausgefallen, weil ein Kabel durchgebrannt ist.
Wir verwenden Kabel mit Teflonbeschichtung. Sie können die Hitze gut aushalten und sorgen dafür, dass die elektrische Verbindung auch bei hohen Leistungen stabil bleibt. Es handelt sich dabei um ein kleines Detail – doch es macht den Unterschied zwischen einem reibungslosen Ablauf und einem totalen Zusammenbruch aus.
Eines sollten Sie jedoch beachten:
Infrarot-Heizungen erzeugen eine hohe Wärmestärke. Das ist zwar gut, um die Teile schneller zu bearbeiten, doch das Kühlsystem muss damit zurechtkommen.
Man kann keine IR-Heizungen einfach in einen alten Konvektionsofen einbauen. Man muss auch an die reflektierte Wärme denken. Wenn man das Gehäuse nicht richtig abschirmt, können die Steuerelektroniken zusammen mit den Substraten beschädigt werden.
Wenn man seine Produktionskapazität erhöhen möchte, ist der Umstieg auf Infrarot-Heizungen die richtige Lösung. Dadurch werden die Zykluszeiten verkürzt und außerdem wird viel Platz eingespart. Überprüfen Sie unbedingt Ihre Stromversorgung und stellen Sie sicher, dass die richtigen Kabel verwendet werden.