Wie wir das Problem mit den Staubpartikeln bekämpfen:
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, gibt es nichts wie „einen kleinen Hauch“ Staub. Schon eine einzelne Staubpartikel oder ein Ausdünstungsprozess durch billige Heizelemente kann dazu führen, dass die gesamte Charge an Silizium wertlos wird. Das ist ein Albtraum.
Deshalb verwenden wir keine Standardmaterialien. Für unsere IR-Härtungslampen und Reflektoren nutzen wir hochreines synthetisches Quarz.
Das Geheimnis liegt im Silizium.
Die meisten Lampen verwenden gewöhnliches Quarz – doch wir entfernen alle Verunreinigungen, damit metallische Ionen nicht in das System eindringen können. Wenn Sie schon einmal gesehen haben, wie eine Lampe während des Betriebs Rauch ausstößt, wissen Sie genau, was wir vermeiden wollen. Wir verschließen die Quarztubes fest, damit kein Halogensauerstoff in den Arbeitsbereich gelangt. So bleibt alles sauber.
Und dann gibt es noch den Reflektor.
Eine Lampe ist im Grunde nutzlos, wenn der Reflektor von schlechter Qualität ist. Wir entwerfen unsere Reflektoren so, dass sie kurzwelliges Infrarotlicht genau dorthin lenken, wo es benötigt wird – direkt auf die Wafer. Da die Energie so gezielt eingesetzt wird, nimmt der Rest der Maschine nicht so viel unnötige Wärme auf. Dadurch bleiben die Vakuumpumpen und Befestigungs Elemente kühl – Sie können also die Leistung erhöhen, ohne befürchten zu müssen, dass etwas schmilzt.
Aber Vorsicht!
Diese Lampen werden sehr heiß. Sehr heiße wirklich. Sie ermöglichen zwar eine schnelle Erhitzung der Wafer, doch wenn man nicht aufpasst, zerstören sie das Kühlsystem. Wenn die Luftzufuhr nicht stark genug ist, um die gesamte Leistung zu bewältigen, brennen die Filamente viel zu schnell aus. Halten Sie sich an einen strengen Kühlplan – Ihr Geldbeutel wird es Ihnen danken.
Wir stellen diese Lampen als einfache Ersatzteile für Ihre Halbleiterwerkzeuge her. Keine komplizierten Lösungen – nur hochreine Materialien, die dafür sorgen, dass Ihre Wafer sauber bleiben.