Hören Sie auf, Zeit mit langsamen Aufwärmvorgängen zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Die Nutzung von Luftzirkulation zur Erwärmung ist ineffizient. Im Grunde genommen wird nur die Luft erhitzt – damit diese anschließend das Substrat erwärmen kann. Im Bereich der Hochpräzisionsverarbeitung von Halbleitern ist dieses Verhalten ein echter Nachteil. Es verringert die Produktivität und kostet wertvolle Produktionszeit.
Wir lösen dieses Problem, indem wir den Mittelsmann weglassen. Stattdessen verwenden wir ozonfreie Infrarotlampen.
Wie es funktioniert:
Anstelle darauf zu warten, dass eine Brise die Wärme überträgt, nutzen Infrarotlampen elektromagnetische Wellen. Die Wärme kommt direkt am Ziel an.
Sie machen sich vielleicht Sorgen wegen möglicher Kontaminationen. Deshalb verwenden wir ozonfreie Quarzkapseln. Dadurch bleibt das Spektrum sauber – es entsteht kein Ozon, das Ihre Reinräume oder Wafer schädigt.
Das Ergebnis: Der Aufwärmvorgang erfolgt fast sofort. Es geht dabei um Zeiten, die von Minuten auf Sekunden reduziert werden können.
Mehr Wärme, weniger Platz:
Diese Lampen liefern eine große Menge an Wärme in einem sehr kleinen Raum. Wenn Sie in engen Räumen arbeiten, in denen ein großer Lüfter oder viele Leitungen nicht Platz finden, dann ist das die ideale Lösung.
Außerdem ist die Wärmestrahlung gerichtet – Sie können genau bestimmen, wohin die Energie fließt. Sie müssen nicht die ganze Maschine mit Wärme überschwemmen und hoffen, dass das Chassis nicht überhitzt. Es handelt sich dabei um einen Kompromiss – aber einen beherrschbaren.
Etwas, worauf man achten muss:
Direkte Strahlung kann problematisch sein. Sie sparen zwar viel Zeit beim Erwärmen, doch aufgrund der hohen Energiedichte muss die Kühlung richtig eingestellt werden. Andernfalls besteht die Gefahr einer Überhitzung des Substrats. Es handelt sich dabei um einen Kompromiss – aber einen beherrschbaren.
Warum sollte man wechseln?
Die meisten Betriebe, die hohe Produktivitäten und Präzision benötigen, haben bereits den Umstieg vorgenommen. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch gegenüber den herkömmlichen Heizsystemen. Man muss nicht mehr mit unvorhersehbaren Luftströmungen kämpfen – stattdessen kann man die Photonen gezielt nutzen.
Im Endeffekt bedeutet das einfach, dass mehr Wafer pro Schicht durch die Maschine kommen können. So einfach ist das.