Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie bereits versucht haben, Standard-Infrarotlampen in einem Reinraum der Klasse 100 zu verwenden, wissen Sie, welche Probleme das mit sich bringt. Die meisten Lampen werden mit Klebstoffen oder billigen Metallen zusammengehalten – doch diese Materialien können die Hitze nicht aushalten. Sobald die Lampen heiß werden, beginnen sie, Gase abzugeben oder kleine Partikel abzuspalten.
In einer Welt, in der bereits ein einzelner Staubkorn eine ganze Charge an Wafern zerstören kann, ist das ein Albtraum.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf solche unbrauchbaren Lampen verzichtet haben. Stattdessen verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz sowie spezielle keramische Endkappen.
Warum gerade die Dichtungen ein Problem darstellen
Die meisten Kontaminationen entstehen an den Dichtungen. Anstelle der herkömmlichen Metallverbindungen verwenden wir hochdichte keramische Endkappen. Das Beste daran: Sie geben bei Erreichen der maximalen Temperatur keine Gase oder Partikel ab.
Außerdem reinigen wir die Quarztube, um metallische Verunreinigungen zu beseitigen. Dadurch entfällt dieses lästige „Stauben“-Phänomen, das bei billigen Lampen auftritt – dabei zerstört die Glasoberfläche und setzt Mikropartikel frei, die die optischen Komponenten beschädigen können.
Die richtigen Materialien auswählen (und die Herausforderungen)
Wir haben uns für einen gefügten Quarzkörper entschieden – er reagiert nicht negativ auf plötzliche Temperaturanstiege. Er kann auch schnelle Temperaturänderungen ohne Risse überstehen. Die keramischen Endkappen bieten außerdem eine stabile, nicht-reaktive Unterlage für die elektrischen Leitungen.
Aber hier ist die ehrliche Wahrheit: Keramik ist brüchig. Wenn das Montagepersonal versucht, die Lampe in einen engen Halter zu stecken oder versehentlich die Endkappe gegen einen Stahlrahmen stößt, kann die Lampe brechen. Man muss daher sehr vorsichtig sein. Behandeln Sie die Lampen mit etwas Sorgfalt beim Einbau – dann wird alles gut gehen.
Die Lampen in die Produktionslinie integrieren
Diese Emittoren eignen sich für Umgebungen, in denen es absolut keine Fehler geben darf. Durch den Verzicht auf organische Bindemittel und Schweißstoffe bleibt die Heizzone chemisch rein.
Ein paar Tipps zum Anschluss der Lampen: Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung stabil ist. Starke Spannungsspitzen können der Dichtung zwischen Quarz und Keramik schaden. Achten Sie darauf, die richtige Spannung einzustellen – und seien Sie beim Einbau vorsichtig. Dann werden diese Lampen tausende von Zyklen lang eine staubfreie Leistung liefern.