V provozním prostoru je sonda pod mikroskopem a čeká na spuštění další série výroby. Pokud se teplota desky pohne byť jen o zlomek stupně, parametry začnou selhávat a kvalita výrobku se zhoršuje. Tento ohřívač sondy byl navržen právě proto, aby zabránil takovému posunu teploty – přímo tam, kde sonda přichází do kontaktu s deskou.
Co je při testování opravdu důležité
Daný přístroj využívá krátkovlnné infračervené elementy, které přivádějí teplo do kvartového termálního kanálu. Tento systém umožňuje rychlou reakci a nízkou termickou setrvačnost. Na úrovni desky zůstává jednotnost teploty v rozmezí ±0,1 °C. Opakovatelnost výsledků je vysoká, protože řídicí smyčka funguje přímo u samotné desky, nikoliv u těla ohřívače. Přístroj lze integrovat do standardních zařízení na testování, přičemž horká oblast je izolovaná, takže pohyb mechanismů nezpůsobuje šíření částic. Díky uzavřeným materiálům a průtoku vzduchu mimo prostor testování může být přístroj používán v čistých prostorách třídy 1–100.
Proč funguje v průmyslové výrobě
Tento ohřívač sondy byl navržen jako ekvivalent mezinárodním zařízením na zpracování polovodičů a byl ověřen podle stejných kritérií. V testovacích zařízeních funguje 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přestávek spojených s změnami teploty. Při testování fotorezistů udržuje teploty potřebné k zpracování v úzkém rozmezí, takže kontrola kritických rozměrů není ovlivněna termickou nerovnoměrností. Výsledkem je méně opakování, stabilní parametry a nižší spotřeba energie, protože cykly ohřevu jsou kratší.
Několik praktických poznámek
Instalace je jednoduchá, ale ohřívač potřebuje speciální, filtrovaný napájecí proud, aby byla kvalita vzduchu v čistém prostoru v požadovaném rozsahu a aby se zabránilo degradaci povlaku v průběhu času. Je nutné přizpůsobit mechanické rozhraní a konektory vašemu zařízení, abyste mohli přístroj použít bez dalších úprav. Jakmile je přístroj správně namontován, funguje jako náhrada za původní zařízení – není potřeba upravovat procesní postupy.