স্মার্ট ফ্যাবে তাপ নিয়ন্ত্রণ করা
একটি স্মার্ট ফ্যাব তৈরি করার অর্থ শুধুমাত্র যন্ত্রপাতিগুলোতে সেন্সর লাগিয়ে ভালো ফলাফল আশা করা নয়। আসলে এর অর্থ হলো তাপ নিয়ন্ত্রণের পদ্ধতিকে পরিবর্তন করা।
ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য আমরা নন-কন্টাক্ট ইনফ্রারেড (IR) সিস্টেম ব্যবহার করি। IR-এর সুবিধা হলো এটি ওয়েফারকে স্পর্শ করে না। স্পর্শ না হওয়ার ফলে কোনো দূষণ হয় না। আর সেন্সরটি তাপ শোষণ করে রিডিংগগুলোকে বিঘ্নিত করে না; এটি দূর থেকেই তথ্য সংগ্রহ করে।
ডিজিটালভাবে তাপ নিয়ন্ত্রণ করা
এটা কীভাবে কাজ করে? IR সিস্টেমটি ওয়েফারের পৃষ্ঠ থেকে আসা বিকিরণগুলো সংগ্রহ করে। আধুনিক সিস্টেমগুলোতে এই তাপীয় শক্তিকে ডেটা স্ট্রিমে রূপান্তরিত করা হয়; যা PLC বা SCADA সিস্টেম সহজেই বুঝতে পারে।
এটা খুব দ্রুত ঘটে—মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই। ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের কোনো “হট স্পট” সঙ্গে সঙ্গেই চিহ্নিত করা যায়। যদি তাপ খুব দ্রুত বাড়ানো হয়, তাহলে সেই পরিবর্তনটি সঙ্গে সঙ্গেই লক্ষ্য করা যায়। এর ফলে ওয়েফার বিকৃত হওয়ার আগেই পাওয়ার সাপ্লাই সামঞ্জস্য করা যায়। এটা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
বন্ধ লুপ ব্যবস্থা
একটি স্মার্ট ফ্যাব বন্ধ লুপ ব্যবস্থার উপর নির্ভর করে। আমরা এই IR সেন্সরগুলোকে সরাসরি যন্ত্রপাতির নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার সাথে সংযুক্ত করি। সিস্টেমটি ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা পরীক্ষা করে, এটাকে কাঙ্ক্ষিত মানের সাথে তুলনা করে এবং তাপ সরবরাহ সামঞ্জস্য করে। আর কোনো অনুমানের দরকার নেই। এর ফলে পুরো তাপীয় প্রক্রিয়ার ডিজিটাল চিত্র পাওয়া যায়; অর্থাৎ প্রতিটি ওয়েফারের জন্য আলাদা তাপ মানচিত্র থাকে। এটা গুণমান পরীক্ষকদের জন্য অত্যন্ত কার্যকর।
ঝুঁকি ও সীমাবদ্ধতাসমূহ
অবশ্য, নির্ভুলতার জন্য কিছু ঝুঁকি রয়েছে। IR সেন্সরগুলো ইমিসিভিটি নিয়ে খুব সংবেদনশীল। যদি ওয়েফারের কোটিং বা উপাদান পরিবর্তন করা হয়, তাহলে ইমিসিভিটি মানগুলো পরিবর্তিত হয়। যদি পুনর্মাপন না করা হয়, তাহলে অবাস্তব তাপমাত্রা দেখা যাবে।
আর সেন্সর ও ওয়েফারের মধ্যে থাকা অপটিক্যাল গ্লাসটিও খুব পরিষ্কার থাকতে হয়। যদি সেখানে অন্য কোনো পদার্থ জমে যায়, তাহলে সিগন্যাল বাধাগ্রস্ত হয়। ফলে ডেটাগুলো ভুল হয়ে যায়।