ফ্যাব ফ্লোরে, প্রোব কার্ডটি স্কোপের নিচে রয়েছে; পরবর্তী লটটি চালানোর জন্য অপেক্ষা করছে। যদি ওয়েফারের তাপমাত্রা এক ডিগ্রিরও কম বা বেশি হয়, তাহলে প্যারামেট্রিক ভিন্ডোটি বন্ধ হয়ে যায় এবং উৎপাদনের কার্যক্ষমতা কমতে থাকে। আমরা এই ওয়েফার প্রোব হিটারটি তৈরি করেছি, যাতে ঠিক সেখানেই—অর্থাৎ প্রোবটি যেখানে স্পর্শ করে—তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
পরীক্ষার সময় কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই ডিভাইসটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদানগুলো ব্যবহার করে কোয়ার্টজ থার্মাল পাথওয়েকে শক্তিসম্পন্ন করে। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিবার পরীক্ষা করার সময় ফলাফল স্থিতিশীল থাকে। কারণ কন্ট্রোল লুপটি হিটারের বডিতে নয়, বরং ওয়ার্কপিসেই রয়েছে। এটি স্ট্যান্ডার্ড প্রোব স্টেশনগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; আর হট জোনটি আলাদা রাখা হয়েছে, যাতে স্টেজের গতির ফলে কোনো ধূলিকণা উড়ে না যায়। সিলড উপাদান ও বায়ুপ্রবাহের কারণে এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এ কাজ করতে পারে।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
এই প্রোব হিটারটি আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলোর সমতুল্য একটি থার্মাল মডিউল হিসেবে ডিজাইন করা হয়েছে; এবং এটি একই মানদণ্ড অনুযায়ী যাচাই করা হয়েছে। কোয়ালিফিকেশন সেলগুলোতে এটি ২৪/৭ ঘন্টা কাজ করে; তাপমাত্রা সংক্রান্ত কোনো সমস্যা নেই। ফটোরেজিস্ট পরীক্ষা করার সময় এটি সঠিক তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে থার্মাল অসমতার কারণে কোনো সমস্যা হয় না। এর ফলে পুনরাবৃত্তির সংখ্যা কমে যায়, প্যারামেট্রিক মানগুলো স্থিতিশীল থাকে, আর শক্তি ব্যবহারও কমে যায়।
কিছু ব্যবহারিক নোট:
ইনস্টলেশনটি খুবই সহজ; কিন্তু হিটারটির জন্য একটি ডেডিকেটেড, ফিল্টারযুক্ত সাপ্লাই প্রয়োজন, যাতে ক্লিনরুমের বায়ুমান স্বাভাবিক থাকে এবং সময়ের সাথে সাথে কোটিংগুলো ক্ষয় না হয়। আপনার স্টেশনের মেকানিক্যাল ইন্টারফেস ও কানেক্টরগুলো সাথে মিলিয়ে নেওয়া অপরিহার্য। একবার সঠিকভাবে ইনস্টল হয়ে গেলে, এটি সরাসরি ব্যবহার করা যায়—আপনাকে আপনার প্রসেস রেসিপিতে কোনো পরিবর্তন করতে হবে না।