في قاعة الإنتاج، يوجد جهاز الفحص تحت المجهر، في انتظار تشغيل الدفعة التالية من الرقائق. إذا اختلفت درجة حرارة الرقاقة حتى بمقدار جزء صغير من الدرجة، فإن نافذة القيم الضرورية للفحص تُغلق، وبالتالي يبدأ معدل الإنتاج في الانخفاض. لقد صُمم هذا الجهاز لمنع حدوث أي اختلافات في درجة الحرارة، أي في المكان الذي يلامس فيه الجهاز الرقاقة مباشرةً.
ما هو الأمر المهم فعلاً أثناء الفحص؟ يستخدم الجهاز عناصر أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة لتوفير حرارة مستمرة، وهو مصمم ليكون سريع الاستجابة وذو قدرة منخفضة على تخزين الحرارة. يظل مستوى التوحيد في درجة حرارة الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن الدقة في النتائج تظل مرتفعة لأن دائرة التحكم موجودة على الرقاقة نفسها، وليس على جسم الجهاز. يمكن تركيب الجهاز في محطات الفحص القياسية، كما أن المنطقة الساخنة معزولة، بحيث لا يؤدي حركة الجهاز إلى تسرب الجسيمات إلى البيئة المحيطة. يعمل الجهاز في بيئات نظيفة من الفئة 1-100، وذلك بفضل المواد المغلقة وتدفق الهواء الذي يُبقى خارج بيئة الفحص.
لماذا يعمل الجهاز بشكل جيد في بيئة الإنتاج؟ تم تصميم هذا الجهاز ليكون مكافئًا للمكونات الحرارية المستخدمة في معدات أشباه الموصلات الدولية، وقد تم اختباره وفقًا لنفس المعايير. يعمل الجهاز على مدار 24 ساعة يوميًا دون أي توقف غير مخطط له بسبب اختلافات درجة الحرارة. عند فحص الرقاقات، يحافظ الجهاز على درجات الحرارة المناسبة، مما يساعد على الحفاظ على دقة الأبعاد الحرجة للرقاقة. النتيجة: عدد أقل من المحاولات الفاشلة، وقيم مستقرة، بالإضافة إلى استهلاك طاقة أقل، لأن دورات التسخين والتبريد أصبحت أقصر.
بعض الملاحظات العملية: عملية التركيب بسيطة، لكن الجهاز يحتاج إلى مصدر طاقة منفصل ومفلتر، للحفاظ على جودة الهواء في البيئة النظيفة ومنع تدهور الطبقة الواقية على الرقاقة مع مرور الوقت. من الضروري أيضًا توافق الواجهات الميكانيكية وأطراف التوصيل مع محطة الفحص، حتى يمكن استخدام الجهاز بسهولة. بمجرد تركيب الجهاز، يمكن استخدامه كبديل مباشر، دون الحاجة إلى تعديل إعدادات العملية.