http://infra-quartz-heat.com/zh/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo zh Mon, 20 Jul 2026 11:50:01 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:50:01 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p><strong>杜绝MEMS晶圆干燥过程中灯管爆炸的噩梦</strong><br> 如果你曾在高负荷的生产环境中工作过，那就知道那种压力有多大。不过，最可怕的情况还是当IR灯管在MEMS晶圆干燥过程中突然爆炸时。这不仅仅是生产线停止运行的问题，更糟糕的是，石英碎片和钨丝会掉落在晶圆上，造成彻底的灾难。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。</p>