http://infra-quartz-heat.com/zh/tags/%E9%AB%98%E7%BA%A7/ Recent content in 高级 on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo zh Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="先进晶圆制造厂的区域供热系统"></p> <p>在光刻工厂中，光阻软化处理过程中温度只要发生1°C的变化，就足以导致关键尺寸出<a href="https://goldisgood.com">现偏差</a>，从而浪费大量晶圆。传统的烤箱是加热整个腔室，而非直接加热晶圆本身。我们设计了分区加热系统，将热量精确<a href="https://henruite.com">地传递到晶</a>圆上，同时确保不会超出每层薄膜允许的温度范围。</p> <p><strong>从技术层面来看，重要的是什么？</strong> 我们的分区红外加热模块能够使晶圆在活性区域内的温度保持±0.1°C的稳定度，而设定点的重复性则可保持在±0.5°C以内，即便经过数千次循环后依然如此。短波发射器能快速达到软化处理和固化处理的所需温度，而且由于没有使用碳纤维，因此可以减少颗粒物的产生，非常适合需要 Class 1–100级洁净度的环境。该系统可24/7持续运行，通过预测性温度补偿功能来保持输出稳定性，即便在超过5,000小时的使用后也是如此。</p>