http://infra-quartz-heat.com/zh/tags/%E5%B8%96%E5%AD%90/ Recent content in 帖子 on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo zh Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="曝光后烘烤 PEB 加热器"></p> <p>在光刻工序中，PEB阶段的温度偏差会迅速导致CD值的偏差以<a href="https://goldisgood.com">及图案位置</a>的偏移。即使晶圆表面的温度差异仅为1°C，也足以使光刻胶的厚度不符合标准，从而浪费大量的工作时间。我们设计的PEB加热器能够将晶圆表面的温度控制在工艺要求的范围内，确保每批产品的质量稳定。</p> <p><strong>关键在于控制温度均匀性</strong><br> 我们使用短波红外卤素元件，通过石英窗口对晶圆进行快速加热，响应时间可控制在几分之一秒以内。这样，晶圆表面的温度均匀性可以保持在±0.1°C左右，重复性则可达到毫秒级。这样一来，第一批产品与第1000批产品所获<a href="https://o-yate.com">得的温度条</a>件是一样的。该模块适用于1-100<a href="https://henruite.com">级洁净室环</a>境，其材料不会产生过多气体，且能有效控制颗粒物污染。<a href="https://o-yate.net">在加热过程</a>中不会产生任何颗粒物，这一点可以通过工具接口处的实时颗粒监测来验证。</p>