http://infra-quartz-heat.com/zh/tags/%E5%8D%A4%E7%B4%A0/ Recent content in 卤素 on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/zh/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="用于晶圆干燥的卤素红外发射器"></p> <p>在芯片制造过程中，哪怕只有一个水印存在，都可能毁掉整批产品。传统的干燥方式存在诸多问题：一方面会有热应力，另一方面则可能存在颗粒污染。而在光刻过程中，任何误差都是不可接受的——在光阻处理过程中，哪怕温度偏<a href="https://henruite.com">差达到</a>0.5℃，都可能导致关键尺寸出现偏差。为此，我们设计了卤素红外光源，用于对晶圆进行干燥处理，从而消除这些不确定性。</p>