传感器 on Infrared Quartz Heat Solutions

晶圆加工设备用温度传感器

Thu, 23 Jul 2026 12:16:46 +0800

在智能工厂中有效控制温度

构建智能工厂并不仅仅意味着在设备上安装一些传感器，然后寄希望于它们能发挥最佳作用。实际上，关键在于改变我们看待温度的方式。

在晶圆加工过程中，我们采用了非接触式的红外传感器。红外传感器的优势在于它不会直接接触到晶圆，因此不会造成污染。此外，也不必担心传感器会像散热器一样影响测量结果，因为传感器只是从远处进行监测而已。

智能传感器封装红外技术

Tue, 21 Jul 2026 09:47:11 +0800

停止让热量在传感器封装中白白流失

在为智能传感器处理晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。真正的挑战在于如何确保热量能够有效地传递到晶圆上，而不是仅仅使机器内部温度上升而已。
这时，金涂层就派上用场了。它彻底改变了我们处理热能的方式。
为什么选择黄金？
大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于：铝会吸收太多能量。而黄金则不同，它能够非常有效地将红外线反射回去。
通过在反应室内壁涂上黄金，实际上就相当于打造了一个“镜子”，可以将热量直接引导到目标位置。这样一来，就不必提高灯具的电压就能达到所需的温度。这是一种更高效、更聪明的处理方式。
让热量准确到达目标位置
可以把这看作是将分散的光源转化为精确的工具。原本会散失在壁面上的能量，现在会被黄金层直接引导到硅片上。这样不仅可以提高热量密度，还能避免温度波动的问题。这样就不会出现边缘被烧坏而中心仍然很冷的状况了，整个系统就能保持均匀的温度。
不过，也有缺点……
当然，这并不是什么万能的解决方案，不能简单地应用在旧机器上。因为黄金会将大量能量反射回工件上，所以灯具也会感受到这种热量。如果没有合适的冷却风扇和散热装置，灯具很快就会损坏。因此，必须确保设备的散热功能正常。
最后一点建议：如果加工时间越来越长，或者固化效果不均匀，那就检查一下反射器的情况。一旦反射器表面出现凹痕或磨损，效率就会下降，能耗也会增加。只要保持反射器的清洁，它们就能继续发挥作用。

MEMS传感器晶圆干燥加热器

Mon, 20 Jul 2026 11:50:01 +0800

杜绝MEMS晶圆干燥过程中灯管爆炸的噩梦
如果你曾在高负荷的生产环境中工作过，那就知道那种压力有多大。不过，最可怕的情况还是当IR灯管在MEMS晶圆干燥过程中突然爆炸时。这不仅仅是生产线停止运行的问题，更糟糕的是，石英碎片和钨丝会掉落在晶圆上，造成彻底的灾难。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。

用于晶圆的精密红外传感器

Mon, 13 Jul 2026 17:54:23 +0800

停止加热空气：更智能的晶圆处理方式

如果真想实现工厂的碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。它们耗能极高。相反，我们应该采用精确的红外加热技术。

原理很简单：既然只需要让晶圆本身变热，那就没必要加热整个真空室或晶圆周围的空气。我们可以利用红外传感器和灯泡，将热量精确地传递到需要加热的位置，从而避免能量浪费。

氢气传感器制造用加热器

Mon, 29 Jun 2026 07:44:24 +0800

在制造车间里，氢气传感器用加热器绝不能出现温度波动。在软烘或硬烘过程中，如果温度出现2°C的波动，那么芯片的关键尺寸分布就会迅速变得不均匀。此外，烘烤过程中产生的颗粒也会降低产品的良率。因此，这里需要的是重复性，而不是仅仅满足一定的容差要求。

其关键在于：我们使用石英和陶瓷材料制成的短波红外元件作为加热器，这样就能实现±0.1°C的精度控制。温度上升过程具有重复性，从而确保温度始终处于光阻剂所允许的范围内。