为什么镀金反射器对晶圆处理至关重要
在干燥晶圆的过程中，每一瓦特的能量都极其重要。最令人沮丧的，就是看着能量白白流失掉。普通的铝制反射器虽然可用，但它们的反射效率太低。这就好比使用镜头有裂纹的手电筒——光线会四处散射，而无法照射到需要照明之处。
这时，镀金反射器就派上用场了。
镀金的“秘诀”
事实上，黄金在处理红外光方面比银或铝更有效。在反射器表面涂上一层薄薄的黄金，就可以防止热量渗透到机器的机壳中。这样一来，热量可以直接照射到晶圆上，从而更快地让晶圆达到所需温度。这种方式的加热效果更为精准且高效。
应对高热量问题
高功率的红外灯确实非常强大。不过，这种强大的功率也意味着会产生大量的热量。如果使用高密度排列的红外灯，就必须确保冷却系统能够跟上节奏。否则，机壳可能会变形，而昂贵的镀金层也会随之损坏。
**专业建议：**请调整控制器的PID设置，以匹配黄金的发射率。如果不这么做，很可能会导致温度超过设定值，进而影响设备性能。
在实际应用中的效果
将这类反射器与数字式红外干燥控制器结合使用，可以让操作更加简便。只需将其连接到SCR或PWM控制器上，就能确保一切正常运行。
最棒的是，这样的设计还能缩小加热区域。由于黄金的反射效率极高，因此不需要那么多灯泡就能达到所需的表面温度。
没错，初始成本会更高，因为黄金的价格并不便宜。但实际上，通过降低能耗和加快处理速度，可以弥补这部分成本。另外，如果你处理的是300毫米大小的晶圆，那么没有均匀的加热效果的话，这是实现均匀加热的唯一方法。